2025年10月09日
混合键合设备，指结合了直接键合及铜互连技术的半导体制造设备。混合键合设备通常由检测系统、表面激活装置[全文]
PECVD设备，全称为等离子体增强化学气相沉积设备，指利用等离子体来促进化学气相沉积过程的装置。与传统CVD[全文]
薄膜沉积设备，指在基板上沉积一层或多层薄膜材料的装置。薄膜沉积设备具有成膜均匀性好、可在较低温度下进[全文]
溴化锂吸收式制冷机组又称溴化锂机组，是通过溴化锂溶液吸收和释放水蒸气来实现制冷的一种制冷系统。溴化锂[全文]
溴化锂吸收式热泵，是溴化锂吸收式机组的一种，以水为冷媒、溴化锂溶液为吸收液，通过吸收式原理回收利用低[全文]
涡节和丁胞换热设备是一种新型列管式强化换热设备，通过在管壁增加螺旋排布涡坑结构，利用壁面涡旋流动理论[全文]
扩散焊是高温和高压环境，使两个或多个金属接触面加热并发生相互扩散，形成新的金属连接。扩散焊作为一种先[全文]
低温泵是一种利用20K以下低温表面凝聚吸附气体的真空泵，一般是以低温液体（液氮或液氦）或低温制冷机为冷[全文]
垂直升降货柜是一种封闭式存储设备，其以托盘为载体，通过机械装置对托盘进行升降和平移，将存放货物的托盘[全文]
电源浪涌保护器（SPD）是一种安全防护的电子装置，广泛应用于电力、建筑等行业，其市场发展前景广阔。 [全文]
三维视觉数字化扫描设备是一种捕获物体三维空间数字化模型的产品，该设备具有灵活便携、扫描高效率、应用场[全文]
喷丸设备是使用压缩空气作动力，由压缩空气的高速气流作用，将丸料喷射到工件表面上，对工件表面进行清理或[全文]
分析色谱包括分析色谱柱、分析色谱填料，分析色谱柱主要包括体积排阻色谱柱、离子交换色谱柱、亲和色谱柱、[全文]
丝杠是一种通过螺母、滚柱、丝杆等零部件将旋转运动转换为直线运动的机构，在人形机器人中主要应用于直线执[全文]
电热膜是一种通电之后就能发热的膜状结构，通常是由电绝缘材料与封装其内的发热电阻材料组成的平面型发热元[全文]
全自由度磁悬浮泵是一种特殊的磁悬浮泵，采用磁悬浮技术实现在六个方位（即六自由度）上悬浮和旋转，具有无[全文]
激光切割头，指将激光束聚焦到工件表面进行切割操作的部件，为激光切割系统重要组成部分。激光切割头的性能[全文]
磁悬浮电机，也称无轴承电机，是利用电磁铁、超导体、永磁体等产生磁场，基于同磁性相斥原理使转子悬浮不与[全文]
激光切割控制系统，指包括计算机辅助制造（CAM）软件、计算机辅助设计（CAD）软件、控制激光器和切割头运动[全文]
磁悬浮轴承主要由转子、功率放大器、电磁执行器、传感器、控制器等组成，利用磁力将转子悬浮，转子与定子之[全文]
