轨道探伤系统是指利用超声波、电磁、机器视觉等无损检测技术，对钢轨内部伤损及表面状态进行检测的专用设备[全文]

超精密运动平台，又称超精密运动系统，指重复定位精度可达到微米级（m）、亚微米级乃至纳米级（nm）的机电[全文]

EUV光刻机，又称极紫外光刻机，指采用13.5纳米波长光源的先进光刻机。EUV光刻机能够实现7纳米及以下制程的[全文]

连续流微通道反应器，指基于微流控技术的连续化反应装置，其通过微米级通可实现反应物高效混合。相较于传统[全文]

原子磁强计，指基于量子效应的磁场测量仪器，通过光泵浦使碱金属原子自旋极化，利用原子在磁场中的拉莫尔进[全文]

前开晶圆运输盒（FOSB）是一种晶圆载具，主要用于晶圆制造厂与芯片制造厂之间12寸晶圆的运输，在后道封装线[全文]

晶圆真空传输腔是一种半导体设备用真空腔体。 真空腔体是半导体设备的核心反应容器，决定着半导体设备的性[全文]

FOUP（Front Opening Unified Pod，前开式晶圆传送盒），是半导体制造工艺中的一种晶圆载具，在半导体制程[全文]

脉冲式旋流澄清净水装置，是一种将脉冲澄清技术与旋流分离原理相结合的一体化水处理沉淀澄清设备。 脉冲式[全文]

低压涡轮叶片，指航空发动机涡轮部件中的核心零件之一，可将燃烧室产生高温燃气能量转化为机械能。与高压涡[全文]

液冷歧管，指液冷散热系统中承担冷却液分配与汇集功能的核心组件，业内形象地称之为液冷回路的分流-汇流中[全文]

CDU，全称为冷却液分配单元。指是液冷系统的流体分配枢纽。CDU液冷泵，为冷却液提供循环动力的核心设备对于[全文]

激光诱导击穿光谱仪（LIBS），指基通过超短脉冲激光聚焦于样品表面，在聚焦点形成能量密度极高的光斑，使样[全文]

三维光学表面轮廓仪，指基于光学原理的高精度非接触式表面计量仪器。三维光学表面轮廓仪具备精度高、分辨率[全文]

六轴六足位移台，指基于Stewart并联机构的高精度定位系统，可通过协同控制六条支链的长度变化，在XYZ三轴平[全文]

微型无槽无刷直流电机，指在无刷直流电机基础上进一步取消定子齿槽结构的产品。微型无槽无刷直流电机可实现[全文]

深海立管，指深海油气开采全系统中的关键装备。深海立管需要具备抗疲劳、耐腐蚀、强度高、韧性好等特点，承[全文]