倒角砂轮是半导体晶圆制造过程中的关键精密磨具，用于晶圆边缘倒角加工场景，属于超硬磨料制品范畴。倒角砂轮的制备涉及磨料选配、结合剂配方设计、冷压成型与烧结（或电镀沉积）、精密加工等多道工序。
倒角砂轮也可称作倒边轮。严格来讲，倒边轮是边缘修磨类磨具的统称，倒角砂轮属于倒边轮下的细分品类，二者定义存在细微差异。在半导体及精密加工场景中，当加工对象为C型斜面棱角时，行业常将倒角砂轮与倒边轮混称，多数语境下两个术语可互换。
在2024年9月29日发布、2025年4月1日实施的国家标准GB/T 44687-2024《超硬磨料制品 半导体晶圆精密磨削用砂轮》中，将半导体晶圆精密磨削用砂轮分为两大类，分别是晶圆边缘倒角精密磨削用砂轮（倒角砂轮）、晶圆端面减薄精密磨削用砂轮（减薄砂轮）。
倒角砂轮由砂轮基体与磨料层组成，磨料层以金刚石磨料搭配各类结合剂固结成型；结合剂体系包含金属、树脂、陶瓷及复合结合剂。按粒度规格划分，常见的倒角砂轮产品采用800#/1500#、1000#/2500#、1000#/3000#等复合粒度组合。按适配晶圆尺寸来看，倒角砂轮主流产品分为8英寸与12英寸配套倒角砂轮，其中12英寸晶圆用倒角砂轮占据主要市场份额。
倒角砂轮主要用于硅、锗、碳化硅、氧化镓、氮化镓、砷化镓、蓝宝石等半导体晶圆以及超薄液晶玻璃的边缘倒角加工。根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国倒角砂轮（倒边轮）行业研究及十五五规划分析报告》显示，晶圆经切片或减薄工序后，边缘会形成锐利棱角并伴随微裂纹；如不做处理，在后续热处理与传输过程中容易出现崩边、碎裂问题。倒角加工通过精密磨削修整晶圆边缘，形成具备特定几何轮廓与表面粗糙度的圆滑边缘，缓解边缘应力集中，提升晶圆整体强度，降低后续工序破损风险。
新思界
行业分析人士表示，我国倒角砂轮生产企业主要包括郑州磨料磨具磨削研究所有限公司、南京三超新材料股份有限公司、江苏赛扬精工科技有限责任公司、江苏兴钻超硬材料科技有限公司等。其中，郑州磨料磨具磨削研究所有限公司（三磨所）是我国磨料磨具综合性研究开发机构，可以提供半导体倒边砂轮，能够用于蓝宝石衬底、碳化硅衬底及硅片的倒角加工领域。此外，青岛高测科技股份有限公司推出多款倒角机，包括4-8英寸倒角机、8寸半导体倒角机、12寸晶圆倒角机等。
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