一体化关节模组，指将传感、驱动、传动与控制等部件高度集成制得的运动单元。一体化关节模组具备安全可靠性[全文]

柔性太阳翼，又称柔性太阳能帆板，指以柔性薄膜作为基板材料制成的航天器能源能源装置。柔性太阳翼具备可采[全文]

太阳翼，又称太阳能帆板，指通过光电转换将太阳能转化为电能的装置。太阳翼需具备安全可靠性高、轻量化、体[全文]

毛细管电泳仪，是以弹性石英毛细管为分离通道，以高压直流电场为驱动力，依据样品中各组分的淌度（单位电场[全文]

胶显影机，是光刻工艺中完成涂胶、烘烤、显影等核心步骤的专用设备，由涂胶单元、显影单元、热板系统、控制[全文]

复合式影像测量仪，是集成二维测量系统和三维测量系统的工业检测设备，由激光传感器、CCD相机、白光共聚焦[全文]

半导体阀门，指安装于半导体设备真空系统与流体系统的关键部件，具备调节压力、切断或接通管路等功能。按照[全文]

半导体真空阀门，指能够通过调节、切断或接通管路建立、维持和控制特定的真空环境的半导体阀门。与传统工业[全文]

特微型轴承，指外径尺寸小于9毫米的超精密微型轴承。特微型轴承具备运行噪音低、转速高、工作精度高、耐高[全文]

等离子喷涂设备，指利用非转移型等离子弧作为高温热源，能够对目标材料进行表面处理的设备。等离子喷涂设备[全文]

焊烟净化器，又称焊接烟尘净化器、焊接烟雾处理器，是一种高效空气净化设备，专门用于捕获焊接、切割、打磨[全文]

紫外气体分析仪，指基于气体分子对特定波长紫外光进行选择性吸收，进而实现定量分析的仪器。紫外气体分析仪[全文]

油雾净化器，又称油雾过滤器、油雾分离器，指能够对机械加工过程中产生的油雾、水雾及粉尘等污染物进行收集[全文]

傅里叶红外气体分析仪，是采用傅立叶变换红外光谱技术，通过迈克尔逊干涉仪将红外光源转换为干涉信号，经样[全文]

光谱椭偏仪，是基于光学椭偏效应原理，用于测定薄膜材料的层构参数（如厚度）和物理参数（折射率、消光系数[全文]

偏心蝶阀，指通过偏离阀杆、蝶板和阀体的几何中心轴线，形成偏心结构的阀门。偏心蝶阀为蝶阀的升级产品，具[全文]

MCT密封系统，全称为模块化电缆穿隔密封系统，指由可变径密封模块、密封框架以及压紧装置等组成的预制化标[全文]