卷对卷涂布机，指用于连续柔性基材表面涂覆功能涂层的自动化设备。卷对卷涂布机的工作流程为将整卷柔性基材[全文]

单向双面挤压涂布机（SDC），指在同一方向上实现基材正反两面同时涂布的新型挤压涂布设备。单向双面挤压涂[全文]

火箭贮箱是液体运载火箭的核心关键结构，用于容纳、贮存液氧、液氢、甲烷等发动机燃烧所用的推进剂，同时承[全文]

离子束溅射镀膜机，亦称离子束沉积镀膜机，属于物理气相沉积（PVD）设备，其基本原理是利用离子源产生高能[全文]

激光清洗机器人，指融合高能激光清洗技术与自动化控制系统的智能装备。激光清洗机器人的工作原理指物体表面[全文]

离子束抛光机，指利用高能离子束在真空环境中轰击工件表面，实现原子量级材料去除的超精密加工设备。离子束[全文]

超精密抛光头，指用于实现纳米级乃至亚纳米级表面加工的关键执行部件，为超精密抛光装备重要组成部分。超精[全文]

多晶硅反应器，是用于生产太阳能级、电子级多晶硅的关键反应装备，主要应用于改良西门子法和流化床法两大技[全文]

动态循环管式反应器是一种新型连续流反应设备，集合了动态管式反应器和循环管式反应器两者优点。动态循环管[全文]

动态管式反应器（DTR）是一种高长径比（L/D）管式结构、内置搅拌轴的管式连续流反应器，可独立于主体流体流[全文]

石英扩散管，是一种用于扩散、氧化、退火等高温工艺的高纯度熔融石英容器。石英扩散管具备抗热冲击、纯度高[全文]

光刻物镜即光刻投影物镜，是由二三十片精密透镜或六面超大反射镜组成的光学系统，用于光线聚焦，并将掩模上[全文]