等离子体刻蚀机，指基于干法刻蚀工艺，利用等离子体选择性去除基材表面特定材料，进而创建精细电路图案的设[全文]

半导体制造的四大关键装备分别为刻蚀机、光刻机、离子注入机以及镀膜设备。离子注入机，指能够将带电杂质离[全文]

化学气相沉积设备，又称CVD设备，指通过化学反应在基体表面沉积高性能薄固体材料的设备。CVD设备需具备台阶[全文]

焊线机，指能够通过金属线进行焊接的电气连接设备。焊线机具备安全可靠性高、焊接速度快、工作精度高、自动[全文]

临界尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM），指利用扫描电子显微镜技术，以纳米级分辨率捕获半导体特征详细图像的量[全文]

低速大转矩永磁同步电动机也称低速大扭矩永磁直驱电机，是指转速低于500r/min、转矩大于500Nm、无减速齿轮[全文]

物理气相沉积设备，简称PVD设备，指采用物理方法，在真空条件下将材料源表面气化成气态原子或分子，最后在[全文]

车铣复合加工中心机床，是一种集车削、铣削等功能于一体，能够通过一次装夹完成多工序加工的数控机床。车铣[全文]

电池冷却器，指专门用于调节动力电池的工作温度的组件，主要安装于电池热管理系统中。电池冷却器具备提升电[全文]

电动扭矩枪作为工业装配及维修领域的关键工具，通过电动机将电能转化为机械能，输出精准可控的扭矩，实现对[全文]

建筑能耗监测系统是采用远程传输等手段，及时采集能耗数据，实现重点建筑能耗的在线监测和动态分析功能的硬[全文]

转辙机作为铁路信号系统中的核心设备，承担着转换道岔位置、锁闭道岔以及反映道岔状态的重任，对保障列车安[全文]

连续卸船机，一种港口装卸设备，根据工作原理可分为螺旋式连续卸船机、链斗式连续卸船机、气力式连续卸船机[全文]

根据有无补偿相对位移的能力，联轴器分为刚性联轴器和挠性联轴器。凸缘联轴器，又称法兰联轴器，是一种通过[全文]

挖泥船，是一种特种船舶，主要用于开挖新航道、清挖水道与河川淤泥、疏浚水工建筑物基槽等，在水利工程、海[全文]

激光尾场电子加速器（LWFA）是一种基于等离子体尾波场的电子加速器。激光尾场电子加速是由激光驱动的电子加[全文]

浮子流量计，又称转子流量计，是通过测量在直线管道内的转动部件（位置）来推算流量的装置，由锥形管、浮子[全文]