激光诱导结晶设备(LIC),指利用激光束对非晶态或部分晶态材料进行局部加热或光场调控,诱导材料发生晶相转变与晶粒生长的设备。激光诱导结晶设备具备工艺集成性、非平衡态加工能力以及时空选择性,在半导体以及显示面板等领域拥有巨大应用潜力。
激光源、光束整形与传输系统、精密运动平台、过程监测系统等为激光诱导结晶设备主要组件。在激光源方面,准分子激光器在激光诱导结晶设备中应用较多。准分子激光器具备工作精度高、适应范围广、安全可靠性高等特点,在微细加工、显示面板以及半导体光刻等领域有所应用。近年来,伴随研究深入,我国准分子激光器技术水平不断提升,这将为激光诱导结晶设备行业发展提供有利条件。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2031年中国激光诱导结晶设备(LIC)行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示,激光诱导结晶设备在众多领域拥有巨大应用潜力,主要包括半导体以及显示面板等。在半导体领域,激光诱导结晶设备可用于先进架构3D NAND Flash存储芯片制备过程中;在显示面板领域,其可用于制造LTPS/AMOLED显示背板。未来伴随全球半导体及显示面板产业逐渐向我国大陆转移,激光诱导结晶设备行业发展空间将得到进一步扩展。
近年来,国家及地方政府对于半导体设备行业发展高度重视,已出台多项相关政策,主要包括《鼓励外商投资产业目录(2025年版)》、《关于推动能源电子产业发展的指导意见》、《关于推动未来产业创新发展的实施意见》等。未来伴随国家政策支持,激光诱导结晶设备作为半导体设备细分产品,行业发展速度有望加快。
成都莱普科技股份有限公司专注于高端半导体专用设备的研发、生产和销售,主营产品包括激光热处理设备与专用激光加工设备等。莱普科技推出的激光诱导结晶设备搭载“激光诱导能量调控光学整形系统”,能诱导晶圆复杂表面形貌结构材料结晶。
新思界
行业分析人士表示,激光诱导结晶设备性能优异,应用前景较好。未来伴随半导体以及显示面板产业发展速度加快,激光诱导结晶设备市场空间将得到进一步扩展。莱普科技具备激光诱导结晶设备自主研发及规模化生产实力,产品可满足高性能半导体器件制造要求。
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