液冷微通道盖板(MLC,微通道封装盖板)是一种将微米级液冷流道直接集成在芯片封装盖板内部的芯片级散热器件,是液冷技术从“板级”向“封装级”演进的核心方向。传统液冷散热结构由Substrate(封装基板)、TIM(热界面材料)、LID(封装盖板)、TIM2(第二层热界面材料)及液冷板等部分组成。冷却液从外部冷板流经,热量需依次穿越芯片、TIM、LID、TIM2、冷板五层介质才能被带走,热阻高、路径长。微通道盖板的核心设计逻辑,是将原本覆盖在芯片上的LID与上方液冷板整合为一体,在LID内部直接加工微通道并集成管路,通过减少中间传热环节降低热阻,进一步提升散热效率。
液冷微通道盖板(MCL)被定位为“封装级散热组件”,直接集成于芯片封装盖内,通过将流道内部结构缩小至微米级缩短传热路径,在发热源头捕获热量。微通道盖板按技术可以分为微通道冷板和微通道盖板,微通道冷板基于现行冷板设计升级,在冷板内壁将流道变窄,扩大接触热源面积以提高冷却效果,是过渡方案。微通道盖板将液冷板与金属盖板集成为一体,冷却液流道直接集成于芯片封装顶部的金属盖内部,盖板就是液冷板。冷板是冷板式液冷系统最直接的热量捕获单元,也是价值量最高的部件之一。
微通道盖板的制造涉及精密流道成型、盖板焊接密封和质量检测等核心环节。主流流道成型工艺包括:激光刻蚀、金属3D打印、化学蚀刻和微挤压技术。
微通道盖板行业目前还处于导入期,行业信息显示,在算力芯片功耗突破2.3kW的节点,行业正加速引入MCL技术,预计最快于2027年下半年进入规模化量产阶段。
新思界产业研究中心整理发布的《
2026-2030年全球及中国液冷微通道盖板行业研究及十五五规划分析报告》显示,微通道盖板需实现精细化流道设计,对加工工艺的精度、效率提出极高要求,技术壁垒较高。当前,微通道盖板行业主要企业有健策、奇鋐、双鸿等台系厂商,健策精密已具备微通道散热盖与均热板散热盖技术,其微通道盖板产品已经发布,已有多家客户测试,应用覆盖GPU、CPU与ASIC,规划2027年新厂投产。大陆方面,英维克、高澜股份等企业在微通道盖板领域也有所布局。
预计随着AI芯片功耗逼近物理极限所驱动的散热技术进一步发展,微通道盖板行业有望迎来爆发式增长。但是,量产良率、液体渗透率、金属微粒沉积、产业链协作模式验证等制约因素依然突出。
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