自动物料搬送系统(AMHS)是晶圆厂的核心配套系统,由空中搬运天车、晶圆存储单元、净化设备以及调度控制软件共同组成。晶圆制造工序繁多,单颗晶圆价值较高,对生产环境洁净度、物料转运的稳定性有着严苛标准,人工搬运已经很难满足现代化工厂的生产要求。AMHS 可以完成晶圆在机台、存储仓之间的全自动转运、缓存与调度,直接影响产线的运转效率和晶圆良率。
国内半导体产业持续扩产,叠加产业链自主可控的政策导向,为本土 AMHS 企业带来发展机遇。在智能制造、半导体装备相关产业政策引导下,国内各地加速布局成熟制程与特色工艺晶圆项目,新建产线对配套自动化物流系统需求持续释放。过去国内晶圆厂大多直接采购海外全套 AMHS 方案,设备采购成本高,后期维护、响应效率也存在一定短板。随着产业链安全意识提升,不少国内晶圆厂开始愿意尝试本土供应商产品,优先在新建产线开展验证测试。然而,AMHS 整厂验证周期较长,客户更换现有系统的风险很高,存量产线替换难度大,国产厂商更多依靠新建工厂获取项目机会,整体国产化率仍处于较低水平,替代空间十分广阔。据新思界发布的《
2026-2030年全球及中国自动物料搬送系统(AMHS)行业研究及十五五规划分析报告》显示,2025 年中国AMHS市场规模超过100亿元人民币。
就全球市场看,AMHS 市场格局高度集中,行业寡头优势十分稳固。日本大福集团、村田机械两家企业占据全球近 90% 的市场份额,长期服务全球头部晶圆企业,积累了大量不同产线的落地经验,产品稳定性得到广泛认可,客户粘性极强。韩国 SEMES 隶属于三星集团,主要服务三星内部晶圆及显示产线,依托集团供应链获得相应市场份额,对外拓展的项目相对有限。AMHS 行业新进入者不仅要攻克硬件设备难题,更要打磨适配复杂工厂环境的调度软件,整套系统需要经过长时间产线实测,因此全球范围内新玩家数量极少。
国内市场需求正在快速增长,但本土企业在全球市场的话语权还比较有限。弥费科技是国内少数能够完成 8 英寸、12 英寸晶圆厂 AMHS 整厂验收的本土企业,硬件与调度软件实现自主研发,不过放眼全球市场,其整体市场份额仍然较小,更多业务集中在国内市场。国内市场上,本土厂商大多先从存储、净化等单点设备切入,逐步向完整搬运系统推进。近些年国内多家新建晶圆项目已经导入国产 AMHS 相关设备,部分项目完成整厂系统落地,证明本土产品已经具备基础可用能力。但对比海外龙头,国内企业在大规模先进产线案例积累、全球化服务网络、复杂场景调度算法等方面依旧存在差距,高端项目竞争中仍处于弱势。
新思界
分析人士认为,从未来发展来看,全球晶圆产能扩张、存储芯片、先进封装项目建设,会持续带动 AMHS 行业需求上行。短期之内,海外龙头的垄断格局很难被彻底打破,国内企业的核心机会仍集中在本土新建产线。接下来行业竞争不再只看单一硬件性能,整厂系统集成、多设备协同调度、后期运维服务会成为比拼重点。国内厂商一方面要持续打磨产品可靠性,积累更多先进产线项目经验,另一方面还要完善供应链配套,降低关键零部件对外依赖。随着更多项目落地验证,国产 AMHS 有望逐步实现从单点设备替代向整厂方案突破过渡,在全球产业链当中争取更多市场份额。
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