高解析度感光干膜属于干膜光刻胶高端品类,依靠光固化反应完成电路图形转移,是预成型薄膜型光刻材料。该材料采用经典三层夹心结构:聚酯(PET)载体膜、光致抗蚀剂功能层以及聚乙烯(PE)保护膜;其中光致抗蚀剂层主要由碱溶性树脂、多官能丙烯酸酯单体与光引发剂复配构成。
高解析度感光干膜主流抗蚀层厚度为25μm,面向超精密场景的产品已减薄至16μm,以此提升图形分辨能力。对比普通商用干膜,该材料线宽/线距(L/S)成像能力大幅提升,常规产品可实现L/S≤15μm,部分前沿产品搭配激光直接成像工艺,可实现1.0μm级线宽图案制备,适用于高精密印制电路板与半导体先进封装制造。
高解析度感光干膜主要用于印制电路板制造中的电路图形转移工序,在AI服务器领域需求增长尤为突出。传统服务器PCB层数多为12~26层,而AI服务器普遍采用22层以上HDI板或30层以上超高多层板,背板产品最高层数可达78层。多层板的每一层线路均需要完成曝光、显影与蚀刻工艺,层数提升直接拉动感光干膜消耗量。与此同时,PCB线宽线距由约4mil向3.5mil及更细规格演进,倒逼高端感光干膜具备更高图形解析能力与铜面附着力。
除PCB之外,高解析度感光干膜在先进半导体封装领域的应用场景持续拓展,同时在微流控芯片、柔性OLED电极等微电子前沿方向也逐步开展应用探索。高解析度感光干膜后续技术研发重点集中在实现更高图形解析能力与超薄膜层之间的性能平衡;开发可同时适配LDI激光直接成像、Stepper投影曝光两种工艺的通用型配方;面向面板级封装等先进封装场景的专用感光干膜材料开发。
新思界
行业分析人士表示,在我国,高解析度感光干膜自主供应能力正在不断增强。初源新材具备高解析度感光干膜规模化生产供货能力,产品覆盖HDI、IC载板精细线路场景;福斯特拥有高解析感光干膜产线,可供应LDI直接成像、IC封装基板用高解析干膜;容大感光的珠海基地感光干膜一期产线已投产,可生产高解析感光干膜,第三条高端进口产线尚在调试,高端型号处于客户送样、小批量导入阶段。
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