三(二甲胺基)环戊二烯基铪，别名三(二甲胺)环戊二烯基铪、环戊二烯基三(二甲胺基)铪，英文简称CpHf，Cas号941596-80-1，分子式C11H18HfN3，分子量370.78，外观为无色至浅黄色透明液体状，相对密度1.56g/cm3，可溶于四氯化碳、烃类等有机溶剂，对空气、水汽敏感。
二氧化铪薄膜具有高介电常数特征，可以替代传统的二氧化硅（SiO2）薄膜应用在场效应晶体管栅极介电层制备领域。在芯片制程工艺不断缩小背景下，二氧化铪薄膜可以避免晶体管栅极介电层减薄而导致的其与硅衬底之间界面势垒出现的电子直接隧穿问题。三(二甲胺基)环戊二烯基铪是新型关键晶体管栅极介电层材料之一，在半导体产业中发展空间大。
我国半导体产业发展迅速，芯片自主设计、生产能力不断提升，拉动市场对三(二甲胺基)环戊二烯基铪需求增长，因此我国三(二甲胺基)环戊二烯基铪相关布局企业不断增多。从制备工艺方面来看，我国企业申请的专利有：芯越芯（南京）电子科技有限公司的“三(二甲胺)环戊二烯铪生产方法”，江苏南大光电材料股份有限公司的“三(二甲胺基)环戊二烯基铪及其制备工艺”及其控股子公司南大光电半导体材料有限公司的“一种三（二甲胺基）环戊二烯基铪的新型合成方法”等。
从提供商来看，我国三(二甲胺基)环戊二烯基铪供应机构与企业主要有南京大学材料MO源研究开发中心、合肥安德科铭半导体科技有限公司等。合肥安德科铭半导体科技有限公司控股子公司铜陵安德科铭电子材料科技有限公司于2025年9月5日获得安徽省应急管理厅发放的危险化学品安全生产许可证，许可内容中包括5吨/年的三(二甲胺基)环戊二烯基铪生产能力。
新思界
行业分析人士表示，我国三(二甲胺基)环戊二烯基铪产能建设不断增多。2025年5月，江西华特电子化学品有限公司华特电子永修半导体新材料中试基地项目环境影响报告书拟批准公示，一期项目中包括三(二甲胺基)环戊二烯基铪生产线；2025年8月，太和气体（荆州）有限公司高端电子化学品材料项目环境影响报告书受理公示，建设内容中包括30吨/年的环戊二烯基三(二甲胺基)铪产能；2025年9月，浙江先导微电子科技有限公司集成电路关键材料基地产业化扩建项目环境影响评价公示，首批次建设内容中包括30吨/年的三(二甲胺基)环戊二烯基铪产能。
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