高纯二氯甲烷，简称DCM，是工业级二氯甲烷经深度纯化制得的高端溶剂，分子式CH2Cl2，CAS号75-09-2，分子量84.93g/mol。该物质常温下为无色透明液体，沸点39.6℃，20℃下密度1.326g/cm3，挥发性强，属于中等极性溶剂，微溶于水，可与醇、醚、苯等多数有机溶剂互溶。
依据纯度指标与杂质管控水平，二氯甲烷市场常见规格分为工业级（≥99.0%）、医药级、色谱级（≥99.9%）与电子级（≥99.99%）四大类。高纯二氯甲烷核心市场集中于电子领域，电子级产品对金属离子、微颗粒等杂质指标管控要求严苛。
高纯二氯甲烷凭借优良溶解性能与快速挥发特性，可应用于半导体晶圆清洗、光刻胶剥离及电子元器件精密清洗工序，能够高效清除晶圆表面光刻胶、有机污染物与颗粒杂质，且不易产生痕量残留。在特定工艺条件下，金属杂质≤0.1ppm的电子级二氯甲烷用于光刻胶剥离，可将晶圆损伤率控制在0.01%以下。
高纯二氯甲烷一般以工业级二氯甲烷作为原料，通过多级纯化工艺提纯至电子级水准，核心工序包含吸附除杂、深度脱水、精馏精制以及洁净灌装等。2026年3月，内蒙古瑞达聚智新材料有限公司年产24万吨甲烷氯化物及系列产品项目开工，计划11月实现首期投产，核心产品涵盖二氯甲烷等基础化工原料。我国工业级二氯甲烷生产能力不断增强，为高纯二氯甲烷行业发展奠定原料基础。
在我国，浙江巨申新材料科技有限公司开发出电子级烃类氯化物系列产品，通过超纯净化技术和洁净灌装系统，纯度达到99.999%，金属离子含量≤1ppb，颗粒度≤0.1μm，旗下电子级二氯甲烷已通过SEMI认证，应用于国内多家半导体企业的晶圆制造工艺，以及头部电子企业的精密零部件清洗工序。
新思界
行业分析人士表示，我国高纯二氯甲烷产能规模还将扩大。2025年8月，山东昂得新材料科技有限公司年产28000吨高纯溶剂项目开工建设，该项目投资约5.2亿元，计划建设高纯化学溶剂生产线15条，购置安装精馏塔、储料罐、灌装线、洗脱设备、压力釜等设备，外购乙腈、二氯甲烷等原料，年产高纯化学溶剂15000吨。
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