全氟醚橡胶，简称FFKM，是一种完全氟化的弹性体，其主链结构高度类似于聚四氟乙烯（PTFE），并引入全氟烷基醚侧基以增强柔韧性，同时具备弹性体的回弹性能和PTFE的热稳定性与化学稳定性。半导体级全氟醚橡胶，也称作半导体级FFKM，长期工作温度范围为-39℃至288℃，短期可耐受327℃以上高温，可抵抗包括强酸、强碱、有机溶剂等在内的多种化学物质侵蚀。
从上游来看，半导体级全氟醚橡胶的核心原料主要有四氟乙烯（TFE）、全氟甲基乙烯基醚（PMVE）、全氟烯醚等。从中游来看，半导体级全氟醚橡胶行业技术壁垒高，其制备工艺主要包括全氟单体聚合、硫化（交联）、后处理等环节。从下游来看，半导体级全氟醚橡胶的主要应用场景集中在半导体制造设备中的密封方面，包括刻蚀设备腔体密封、薄膜沉积设备（CVD/PVD）密封，以及蝶形排气阀、真空泵等配套部件密封等。
半导体级全氟醚橡胶在光刻工艺中，凭借超低逸出气和颗粒控制能力，可以防止掩模版和晶圆表面被污染；在刻蚀工艺中，可以耐受O2等离子体、NF3等离子体以及氢氟酸等强腐蚀性化学品的侵蚀，且高温条件下压缩永久变形率低，使用寿命长；在薄膜沉积工艺中，可以承受强等离子体轰击和高温气体环境，其极低的逸出气特性能够防止腔体污染，保障薄膜沉积精度；在晶圆清洗工艺中，可以用于氢氟酸管路阀门密封方面，以保障腐蚀性介质安全输送。
从标准规范方面来看，目前我国已经出台多项半导体级全氟醚橡胶相关标准，包括2025年4月21日实施的团体标准T/CASME 1953-2025《半导体设备用全氟醚橡胶密封制品》，2025年7月2日实施的团体标准T/UNP 762-2025《半导体全氟醚橡胶圈》，2025年7月30日实施的团体标准T/UNP 802-2025《半导体全氟醚橡胶圈》等，对我国半导体级全氟醚橡胶行业发展进行了规范化。
新思界
行业分析人士表示，在我国市场中，半导体级全氟醚橡胶布局企业主要有上海芯密科技股份有限公司、沸点密封科技（江苏）有限公司、大金清研先进科技（惠州）有限公司、尼可（青岛）高分子科技有限公司等。
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