电子级液氯,是在工业级液氯的基础上,通过一步纯化处理,将其中的水分、金属离子、三氯化氮等杂质含量控制在极低水平的高纯度液化氯气,纯度通常不低于99.99%。
氯气(Cl2),常温常压下为气态,加压可液化,即液氯,目的是降低储运成本、提高储运效率与安全性,并能够提升使用便利性。液氯,黄绿色液体,有剧毒,有强腐蚀性与刺激性,性质活泼,下游用途极为广泛。根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国电子级液氯行业研究及十五五规划分析报告》显示,高纯度的电子级液氯属于高技术含量、高附加值产品,可以应用在半导体、微电子、光纤通信、太阳能电池、高温超导等高技术产业中。
电子级液氯在半导体产业中,可以用于半导体器件干法蚀刻方面,能够与三氯化硼配合,对金属铝进行蚀刻,形成精细电路图案,并可以用来制备化合物半导体材料,例如砷化镓、氮化镓、磷化铟等;在太阳能电池方面,可以用于太阳能电池片镀膜前清洗、光电材料表面处理等领域;在光纤通信中,可以采用MCVD法来生产单膜光纤预制件;此外还可以用于硅片热氧化辅助处理、钇钡铜氧等高温超导材料制备等领域。
电子级液氯的制备方法通常是,以工业级液氯为原料,气化后通过多级物理干燥,吸附去除二氧化碳杂质,再经压缩冷凝,精馏去除氮气、氧气、氢气等低沸点气体杂质,可以获得纯度99.99%(5N)级别的电子级液氯。
随着5G通信、大数据、物联网、人工智能等新兴产业蓬勃发展,半导体、微电子、光纤、高温超导等领域对电子级液氯需求持续增长。例如微电子向高度集成化方向升级,使得市场对液氯的品质要求日益严苛,5N级别及以上的电子级液氯需求持续攀升,推动我国电子级液氯生产技术不断升级优化,同时产能规模不断扩大。
新思界
行业分析人士表示,2026年3月,建滔(衡阳)实业有限公司年产1万吨含氯电子级特气(一期)项目环境影响报告受理公示,该项目为改建项目,总投资5000万元,分两期建设,一期工程建设内容中包括年产1000吨电子级液氯产能,未来二期工程建设内容中也包括年产1000吨的电子级液氯产能。我国其他电子级液氯布局企业还有湖北和远气体股份有限公司、中巨芯科技股份有限公司等。
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