平面电机，是直接将电磁能转化为二维平面运动的电机装置。传统电机需要通过旋转、直线等多级机械转换机构才能实现平面运动，而平面电机无需中间传动转换环节，可依靠电磁作用直接输出平面运动。
平面电机主要可以分为变磁阻型、永磁同步型、感应型三大类。其中，感应型平面电机的研究成果较少；变磁阻型平面电机已经初步实现产品落地应用，但定位精度有限、工作温升较高等技术短板尚未解决；永磁同步型平面电机凭借控制精度优异、运行损耗低等优势，是当前平面电机研究与应用的核心热点。
平面电机具有出力密度大、动态响应速度快、运动灵敏度高、定位精度高、发热损耗低等优点，在光刻机等高端制造领域扮演着关键角色。平面电机是光刻机超精密工件台的核心关键技术，ASML公司依托飞利浦公司磁浮平面电机核心技术，将动圈式磁浮平面电机应用于部分深紫外DUV光刻机以及极紫外EUV光刻机的工件台粗动台中，显著提升了光刻机运动控制精度与生产效率。
光刻机是我国集成电路芯片制造领域的“卡脖子”技术之一，因此近年来我国在平面电机方面的研究力度正在不断加大。2020年，武汉大学在《仪器仪表学报》上发表“一种磁悬浮平面电机多目标优化方法”论文；2025年7月，清华大学团队出版《无铁芯永磁同步平面电机设计与应用》图书；2025年12月，华中科技大学公开“磁钢平台充磁系统、方法、磁浮平面电机和光刻装置”专利。
新思界
行业分析人士表示，在全球市场中，平面电机市场参与者主要包括Planar Motor Incorporated（PMI）、Beckhoff Automation、飞利浦（Philips NV）等。在我国市场中，苏州玖钧智能装备有限公司专注于高速高精传动产品的研发、生产、销售、售后与服务，主要产品中包括精密直线电机（单轴直线电机、动定子等）。2026年3月，苏州玖钧智能装备有限公司与哈尔滨工业大学合作的“XY平面电机运输系统研发及产业化”项目入选2025年度昆山市祖冲之攻关计划铜π项目，聚焦永磁同步平面电机系统，提出混合励磁永磁阵列结构。
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