数字微镜型空间光调制器(DMD-SLM)是一种基于数字微镜器件(DMD)的空间光调制器。空间光调制器(SLM)是一种能够在空间维度上调制光波相位、振幅或偏振态的器件,数字微镜器件(DMD)是光开关的一种,利用旋转反射镜实现光开关的开合。
目前空间光调制器主流技术有硅基液晶型SLM(LCoS-SLM)、数字微镜型SLM(DMD-SLM)、MEMS变形镜三大类。硅基液晶型SLM与数字微镜型SLM具有可靠性高、工艺成熟等特点,是目前空间光调制器主流。数字微镜型SLM核心结构为百万级MEMS微镜阵列,工作原理是通过控制百万级MEMS微镜阵列的高速、高频摆动,实现对入射光在空间上的调制。
数字微镜型SLM具有响应速度快、可数字控制、简单稳定、抗干扰等优势,适用于激光增材制造(3D打印)、高速成像、数字光刻、光计算、全息显示、自适应光学等领域。近年来,随着以上领域发展,市场对数字微镜型SLM的需求持续增长。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2031年中国数字微镜型空间光调制器(DMD-SLM)行业应用市场需求及开拓机会研究报告》显示,长期以来,数字微镜型SLM市场被美、日企业垄断,包括日本滨松光子学株式会社、美国Meadowlark Optics、德国Holoeye、德国Jenoptik等,国内科研机构和高技术企业严重依赖进口。近三年来,这一局面正发生改变。
一方面,数字微镜型SLM技术水平处于快速发展中,2016-2025年,国内数字微镜型SLM相关公开专利数总量呈逐渐增长态势,技术研发处于密集期。高速相位调制、与激光雷达结合、产品参数向更高分辨率/更高损伤阈值等方向发展是未来重要发展趋势。
另一方面,数字微镜型SLM布局企业不断增加,包括上海钜蛟光电科技有限公司、金华飞光科技有限公司等,上海钜蛟光电科技成立于2021年,主营数字空间光调制器,2026年完成天使轮数千万融资。金华飞光科技成立于2016年,主要致力于数字微镜型SLM的应用技术研发。
新思界
行业分析人士表示,数字微镜型SLM应用场景多样,激光增材制造、光计算、全息显示、自适应光学等领域处于快速发展中,数字微镜型SLM市场增量空间大。数字微镜型SLM技术门槛高,目前进口数字微镜型SLM仍占据主导,但国产品牌已开始开始崛起,随着专利技术持续积累、资本积极入局,数字微镜型SLM有望逐渐实现国产替代。
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