快速热处理设备（RTP），指在极短时间内能将基板材料加热至高温状态，并进行退火、氧化、氮化、合金化等热处理工艺的设备。快速热处理设备可依靠激光或高功率灯管实现加热，具备升降温速率极快、温度均匀性好、加工效率高等优势，在半导体制造领域应用较多。
快速热处理设备种类极为丰富，主要包括快速热退火设备（RTA）、快速热氮化设备（RTN）、快速热氧化设备（RTO）等。快速热退火设备在达到目标温度时能够实现快速退火，在半导体离子注入工艺中应用较多；快速热氮化设备可用于硅片表面氮化工艺中，能够提升铜互连结构的阻挡扩散性能；快速热氧化设备可用于硅片表面氧化工艺中。未来随着细分产品应用需求增长，快速热处理设备行业景气度有望提升。
快速热处理设备主要由高纯石英件、红外高温计、准分子激光器、红外卤素灯等组件构成。高纯石英件包括托盘、石英舟以及炉管，主要用于承载晶圆；红外高温计主要用于监测温度；准分子激光器能够提供极高能量，进而实现退火等热处理工艺。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2031年快速热处理设备（RTP）行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，快速热处理设备主要应用于半导体制造领域，包括离子注入、栅介质形成、先进封装等。近年来，全球半导体产业有向我国大陆转移的趋势，带动芯片产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2025年我国集成电路产量达到4843亿块，同比增长10.9%。经过多年发展，快速热处理设备已成为半导体热处理设备市场主流产品，占比达到近五成。未来随着应用需求增长，我国快速热处理设备市场空间还将进一步扩展。
我国快速热处理设备行业集中度较高，头部优势企业占据市场较大份额。屹唐股份专注于集成电路制造过程中所需晶圆加工设备的研发、生产及销售，主营产品包括Helios系列快速热处理设备、Millios闪光毫秒级退火设备等，为我国快速热处理设备代表企业。据屹唐股份企业年报显示，2024年公司快速热处理设备销量达到71台。
新思界
行业分析人士表示，快速热处理设备作为半导体热处理设备，应用需求旺盛。未来伴随我国半导体产业发展速度加快，快速热处理设备行业发展空间将得到进一步扩展。在市场竞争方面，屹唐股份具备快速热处理设备自主研发及量产实力，占据我国市场较大份额。
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