MEMS超声传感器是指基于微机电系统（MEMS）技术的超声传感器，通过MEMS工艺实现电-声、声-电的高效转换。MEMS超声传感器的振子分为压电式、电容式两大类，其中压电式MEMS振子是基于压电材料的“压电效应”原理。
微机电系统（MEMS）是一种将机械结构与电子电路集成在同一芯片上的工艺，能够制造出尺寸在微米乃至纳米级别的敏感元件。超声波是重要的智能感知路线，具有传透性强、方向性好、能量高、环境适应性强等特点。
MEMS超声传感器融合了MEMS技术与传统超声波检测原理，具有体积小、响应快、功耗低、易于与信号处理电路集成等优势，正成为MEMS器件中快速增长的重要分支之一。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年中国MEMS超声传感器行业市场调查研究报告》显示，MEMS超声传感器主要用于距离测量或成像，在汽车自动驾驶、医学超声成像、工业无损检测、无人机避障、机器人感知、物联网测距、消费电子、生物检测等领域应用空间广阔。MEMS超声传感器应用正不断深入，2025年全球MEMS超声传感器市场规模约450亿元。
汽车自动驾驶、医学超声成像、消费电子是MEMS超声传感器代表性应用场景。在汽车自动驾驶领域，MEMS超声传感器体积小，能嵌入车门、后视镜、轮毂等位置，实时检测车位宽度、障碍物距离等；在医学超声成像领域，MEMS超声传感器能够实现非侵入性、高时空分辨率的实时医学成像，可用于检测皮肤肿瘤、炎症、胎儿心率等。
MEMS超声传感器是MEMS传感器的重要细分，全球范围内，MEMS传感器市场参与者包括博世（Bosch）、意法半导体、TDK（东电化）、博通（Broadcom）、英飞凌科技、德州仪器（TI）、亚德诺半导体（ADI）、霍尼韦尔（Honeywell）、村田制作所、基恩士（KEYENCE）、旭化成、惠普、佳能、楼氏电子、歌尔微电子、泰科电子等。我国企业在消费电子MEMS领域已具备全球竞争力，但车规级、医用级MEMS传感器仍由国际品牌占据主导。
新思界
行业分析人士表示，相比于传统超声波传感器，MEMS超声传感器具有体积小、低功耗、响应快等核心优势，近年来在汽车自动驾驶、医学超声成像、工业无损检测、消费电子等领域应用越来越广泛。MEMS超声传感器技术在不断演进，随着人工智能（AI）、微米级声学谐振腔技术、压电薄膜材料、柔性可拉伸结构等新材料、新技术、新结构的引入，MEMS超声传感器将不断向集成化、多功能化、智能化、高灵敏度等方向升级。
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