氮化铝单晶衬底,又称AlN单晶衬底,指由高纯度氮化铝单晶材料制成的高端半导体衬底。氮化铝单晶衬底具备禁带宽度高、击穿场强高、介电性能好、热导率高、热膨胀系数低等优势,在高功率电力电子器件、UVC LED、通信系统、高频微机电系统等领域拥有潜在应用价值。
为规范市场发展,我国有关部门正在积极推进氮化铝单晶衬底行业标准的制定工作。2025年1月,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口的国家标准计划项目《氮化铝单晶复合衬底》发布,将针对氮化铝单晶复合衬底的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则等内容进行明确规范,松山湖材料实验室、北京大学东莞光电研究院等为该标准主要起草单位。
氮化铝单晶衬底有多种类型。按照晶向不同,氮化铝单晶衬底可分为c向与其他特殊晶向氮化铝单晶衬底;按照衬底尺寸不同,氮化铝单晶衬底可分为2英寸、4英寸、6英寸以及8英寸氮化铝单晶衬底。未来随着细分产品应用需求增长,氮化铝单晶衬底行业景气度将得到进一步提升
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年氮化铝单晶衬底(AlN单晶衬底)行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,氮化铝单晶衬底在众多领域拥有潜在应用价值,主要包括高功率电力电子器件、UVC LED、通信系统、高频微机电系统等。在高功率电力电子器件领域,氮化铝单晶衬底可用于高效电力转换开关以及高压开关设备中;在UVC LED领域,其可用于提升UVC LED器件的安全可靠性,该领域为其最大需求端;在通信系统领域,其可用于5G/6G基站射频HEMT器件、卫星通信射频组件、相控阵雷达T/R芯片中。
全球氮化铝单晶衬底行业主要布局企业包括日本Stanley Electric公司、日本旭化成株式会社(AsahiKASEI)等。在本土方面,奥趋光电技术(杭州)有限公司、晶曜盛巳(宁波)半导体有限公司等为我国氮化铝单晶衬底市场主要参与者。奥趋光电已掌握2-4英寸氮化铝单晶衬底核心技术,产品质量位居行业领先。
新思界
行业分析人士表示,氮化铝单晶衬底作为超宽禁带半导体基础材料,应用前景较好。未来随着技术进步以及应用需求增长,氮化铝单晶衬底行业发展空间将得到进一步扩展。在行业发展初期,日本占据全球氮化铝单晶衬底市场主导地位。未来随着本土企业持续发力,我国氮化铝单晶衬底市场国产化进程有望加快。
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