新戊硅烷（NPS），又称四甲硅烷基硅烷，化学式为Si₅H₁₂，CAS号为15947-57-6，分子量为152.52，是一种支化氢化硅烷。新戊硅烷分子以一个中心硅原子为核心，呈四面体构型，具备热分解温度较低、成膜性能好等优势，在先进半导体制造领域拥有潜在应用价值。
新戊硅烷制备方法包括六卤代二硅烷合成法以及氢化锂铝还原法等。六卤代二硅烷合成法指以六卤代二硅烷为起始原料，加入叔胺催化剂，经过充分反应、分离等流程制得成品；氢化锂铝还原法指以氢化锂铝为还原剂，在乙醚体系中经过氢化还原制得成品，该法存在副反应较多、成品杂质含量高等问题，不适合进行连续化生产。
六氯乙硅烷为新戊硅烷主要原材料。六氯乙硅烷由硅粉与氯气在高温下反应制得，具备化学稳定性好、挥发性低等特点，在半导体、光伏以及化工合成领域应用广泛。经过多年发展，我国六氯乙硅烷技术成熟度不断提升，这将为新戊硅烷行业发展奠定良好基础。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年新戊硅烷（NPS）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，新戊硅烷在先进半导体制造领域拥有潜在应用价值。在半导体外延硅沉积领域，新戊硅烷可作为半导体化学气相沉积（CVD）工艺前驱体材料；在旋先进集成电路制造领域，其可用于FinFET、GAA晶体管等三维结构晶体管技术中。此外，新戊硅烷还可用于硅基薄膜太阳能电池以及硅碳负极材料制造过程中。未来伴随研究深入，新戊硅烷应用范围有望扩展。
法国液化空气公司（Air Liquide）、德国林德集团（Linde）、德国瓦克公司（Wacker）、美国英格特公司（Entegris）等为全球新戊硅烷市场主要参与者。在本土方面，江苏南大光电材料股份有限公司、苏州矽索新材料有限公司、陕西衡瀚新材料有限公司等为我国新戊硅烷主要生产商。南大光电旗下子公司南大光电半导体已获得《一种新戊硅烷中间体制备方法及其应用》等多项新戊硅烷相关专利。
新思界
行业分析人士表示，新戊硅烷作为先进半导体制造领域的新型硅前驱体材料，在集成电路外延沉积、原子层沉积工艺中拥有巨大应用潜力。伴随我国半导体产业发展速度加快，新戊硅烷市场需求有望增长。目前，我国新戊硅烷行业尚处于起步阶段，未来伴随技术进步，其市场参与者数量有望增长。
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