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电子级亚氨基二乙酸(电子级IDA)适用于半导体清洗领域 我国行业发展面临一定挑战

2026-03-26 09:54      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:


        按照用途不同,亚氨基二乙酸可分为电子级亚氨基二乙酸、工业级亚氨基二乙酸以及医药级亚氨基二乙酸。电子级亚氨基二乙酸,简称电子级IDA,指纯度大于99%的亚氨基二乙酸。电子级IDA外观呈白色结晶性粉末,具备杂质含量低、螯合能力强等优势,在电镀液添加剂、半导体清洗以及光刻胶剥离液中应用较多。

        电子级亚氨基二乙酸制备方法包括二乙醇胺法、亚氨基二乙腈法以及氯乙酸法等。二乙醇胺法以二乙醇胺为主要原材料,在催化剂作用下经过脱氢反应制得成品,该法具备成品纯度高、成品质量好等优势,但其运行成本较高;亚氨基二乙腈法具备生产成本低、成品收率高等优势,我国企业多采用该法制备电子级亚氨基二乙酸。

        根据新思界产业研究中心发布的《2026年中国电子级亚氨基二乙酸(电子级IDA)市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示,电子级亚氨基二乙酸主要应用于电镀液添加剂、半导体清洗以及光刻胶剥离液等领域。在半导体清洗领域,电子级亚氨基二乙酸可用于晶圆预清洗过程中,能够将晶圆表面金属离子含量从ppm级降至ppb级。近年来,随着半导体产业发展速度加快,我国晶圆产能有所扩张。2025年我国8英寸晶圆月产能达到近600万片。在此背景下,电子级亚氨基二乙酸行业景气度有望提升。

        我国电子级亚氨基二乙酸市场主要参与者包括湖北倍思电子材料有限公司、千予半导体材料(苏州)有限公司、山东科润霖化工有限公司、青岛名钰技术有限公司等。千予半导体已具备99.5%及以上纯度电子级亚氨基二乙酸生产实力,产品在7nm及以下制程晶圆制造过程中应用较多。

        目前,我国电子级亚氨基二乙酸行业发展仍面临诸多问题亟待解决。一方面,电子级亚氨基二乙酸对纯度要求较高,制备难度较大,我国具备其生产实力的企业数量较少;另一方面,电子级亚氨基二乙酸在制备过程中易产生含氮、含酸废水,对环境造成影响,企业需要承受较高环保成本。

        新思界行业分析人士表示,电子级亚氨基二乙酸性能优异,在半导体制造领域需求旺盛。未来随着我国晶圆产能持续扩张,电子级亚氨基二乙酸市场空间将得到进一步扩展。目前,我国电子级亚氨基二乙酸行业发展仍面临一定挑战,未来随着本土企业持续发力以及技术进步,其产量及质量将得到进一步提升。
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