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我国电子级二氯二氢硅进口依赖度高 未来国产替代空间广阔

2023-09-26 13:55      责任编辑:王昭    来源:www.newsijie.com    点击:
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我国电子级二氯二氢硅进口依赖度高 未来国产替代空间广阔

  常温常压下,二氯二氢硅为具有刺激性窒息气味和腐蚀性的无色有毒气体,易燃,燃烧氧化后生成氯化氢和氧化硅。二氯二氢硅可溶于苯、醚和四氯化碳,与水接触水解形成盐酸,在其自身蒸汽压力下作为液化性气体运输。在半导体制造、集成电路中,二氯二氢硅主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅。近年来,随着我国半导体产业快速发展,电子级二氯二氢硅市场需求释放,但受技术限制,我国电子级二氯二氢硅进口依赖度较高。

  电子级二氯二氢硅的硅含量比三氯氢硅、四氯化硅的硅含量高,沉积硅更有效,且淀积所需的温度比其他氯硅烷低,因此在降低温度下沉积厚层所需的时间更短。电子级二氯二氢硅是微电子、光电子元件制造过程中不可或缺的重要材料,符合2016年国家商务部发布的《鼓励进口技术和产品目录》,是国家鼓励发展的重点行业之一。电子级二氯二氢硅进口依赖度较高,为保证我国信息产业健康发展,自主研制电子级二氯二氢硅势在必行。

  根据新思界产业研究中心发布的《2021年全球电子级高纯二氯二氢硅行业市场现状调研报告》显示,受生产技术因素限制,现阶段,全球电子级二氯二氢硅供应商数量较少,主要分布在日本、美国、德国等国家,包括日本信越、大阳日酸、液化空气、德国默克等企业。从国内来看,我国电子级二氯二氢硅生产企业屈指可数,相关企业包括唐山三孚股份、河南沁阳凌空特种气体等。

  2021年1月19日,三孚股份发布的公告显示,全资子公司唐山三孚电子材料有限公司投建年产500吨电子级二氯二氢硅及年产1000吨电子级三氯氢硅项目于2020年11月13日正式投料试车,该项目投资总额28724万元,目前所有工艺流程均已正常顺利打通,产品已经顺利试充装。随着在建电子级二氯二氢硅项目逐步开展与实施,电子级二氯二氢硅国产化进程将逐步加快,未来我国电子级二氯二氢硅对外依赖度将有所下降。

  新思界行业分析人士表示,电子级二氯二氢硅是微电子、光电子元件制造过程中不可或缺的重要材料,是国家鼓励发展的重点行业。现阶段,我国电子级二氯二氢硅生产企业数量较少,产品进口依赖度较高,电子级二氯二氢硅国产替代空间广阔。但随着国家重视度、企业生产能力提升,未来几年我国电子级二氯二氢硅市场对外依赖度将不断下降。

关键字: 电子级二氯二氢硅 气体