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超高纯铝靶材可用于集成电路制造过程中 我国技术水平有望提升

2026-06-29 10:14      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:


        超高纯铝靶材,指在物理气相沉积(PVD)工艺中,通过高速粒子轰击方式溅射沉积铝薄膜所使用的高纯度铝基材料。超高纯铝靶材具备杂质含量极低、耐腐蚀等特点,在显示面板、集成电路、光伏电池制造过程中拥有巨大应用潜力。

        超高纯铝靶材主要原材料为超高纯铝。超高纯铝指纯度达到5N及以上的铝材,占据超高纯铝靶材生产成本近六成。超高纯铝制备流程较为复杂,行业技术壁垒较高。近年来,我国企业及相关科研机构不断加大对于超高纯铝的研究,部分企业已具备其批量供应能力。原材料优势将为我国超高纯铝靶材行业发展奠定良好基础。

        随着研究深入,我国超高纯铝靶材相关专利数量不断增加,主要包括《一种用于制备超高纯铝靶材的强应变低温轧制细化晶粒方法》、《一种超高纯铝靶材与铝合金背板的电子束焊接方法》、《一种高择优取向细晶超高纯铝靶材的制备方法》、《一种超高纯铝靶材的制备方法》等。在此背景下,我国超高纯铝靶材技术水平将不断提升。

        根据新思界产业研究中心发布的《2026-2030年超高纯铝靶材行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,超高纯铝靶材在众多领域拥有巨大应用潜力,主要包括显示面板、集成电路、光伏电池制造等。在集成电路领域,超高纯铝靶材可用于导电层、阻挡层和接触层制备过程中。近年来,随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移,我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示,2026年第一季度,我国集成电路产量达到1272亿块,同比增长24.3%。在此背景下,超高纯铝靶材应用需求将进一步增长。

        我国超高纯铝靶材市场主要参与者包括宁波江丰电子材料股份有限公司、南通泰德电子材料科技有限公司、新疆众和股份有限公司等。江丰电子专注于超高纯金属溅射靶材、半导体精密零部件的研发、生产及销售,为我国超高纯铝靶材代表企业,产品已在大规模集成电路制造过程中获得广泛应用。

        新思界行业分析人士表示,超高纯铝靶材为显示面板、集成电路、光伏电池制造过程中的基础材料,未来伴随应用需求增长,其行业发展空间将得到进一步扩展。目前,我国超高纯铝靶材行业集中度较高,江丰电子占据市场较大份额。
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