电子级草酸,是一种湿电子化学品,纯度达到SEMI G3及以上标准。
草酸又称乙二酸,是一种有机酸,为最简单的二元羧酸,化学式为H2C2O4,呈无色单斜片状或棱柱体结晶或白色粉末,广泛存在于菠菜、芋头、马齿苋、苋菜、大黄等植物中。根据纯度和应用范围不同,草酸分为工业级草酸和电子级草酸。
工业级草酸可作为还原剂、漂白剂、媒染剂、鞣革剂等,在造纸、纺织印染、化妆品、皮革工业、冶金、医药等领域应用;电子级草酸纯度高,金属杂质、非金属杂质、含水量等极低,可用于晶圆精密清洗、电子陶瓷制造、PCB蚀刻、先进半导体材料合成等,在半导体、精密电子等领域应用潜力大。
电子级草酸通过工业级草酸进行重结晶制备获得,即将工业级草酸固体溶解在去离子热水中,经过过滤、再次冷却结晶得到草酸晶浆,最后草酸晶浆经离心机洗涤得到。2024年4月,湖北兴福电子材料股份有限公司取得一项“一种高纯度无废液电子级草酸的提纯方法”专利,该发明具有产品纯度高、收率高(可达70%以上)、无废液处理、绿色经济等优点。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国电子级草酸行业研究及十五五规划分析报告》显示,受多种因素驱动,我国已成为全球最大的半导体制造和消费大国。根据美国半导体协会(SIA)数据显示,2025年1-10月,中国大陆半导体销售额约为1694亿美元,同比增长12.5%。在此利好下,我国市场对电子级草酸等湿电子化学品需求持续旺盛。
电子级草酸生产工艺复杂,进入壁垒高,我国少数企业具备生产实力,包括山东丰元化学股份有限公司、山东华鲁恒升化工股份有限公司、荆州诚亿化工科技有限公司等。丰元股份是国内草酸行业龙头企业,已形成工业草酸、精制草酸及草酸衍生品合计10万吨/年的产能规模。2026年2月,荆州市东泽化工“年产10020吨电子化学品技术改造项目”环评第一次公示,其中包括10000t/a电子级草酸。
新思界
行业分析人士表示,随着企业在生产工艺方面深入研究并取得突破,电子级草酸产品性能和生产效率将进一步提升。随着半导体、精密电子行业快速发展,电子级草酸市场需求将持续释放。我国已有少数企业具备电子级草酸生产能力,并加快进行产能布局,受此带动,电子级草酸行业产能水平将不断提升。
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