MEMS微振镜，又称MEMS扫描镜、MEMS微镜，指采用光学MEMS技术制成的光学微机电器件。MEMS微振镜具备集成度高、微型化、功耗低、运行成本低、使用寿命长等优势，在机器人制造、智能驾驶、医疗卫生、消费电子等众多领域拥有巨大应用潜力。
MEMS微振镜种类丰富。按照反馈方式不同，MEMS微振镜可分为电容反馈式MEMS微振镜、光电反馈式MEMS微振镜、无反馈MEMS微振镜、压阻反馈式MEMS微振镜；按照驱动方式不同，可分为压电驱动式MEMS微振镜、电热驱动式MEMS微振镜、静电驱动式MEMS微振镜以及电磁驱动式MEMS微振镜；按照转动轴数不同，可分为双轴以及单轴MEMS微振镜等。未来随着细分产品应用需求增长，MEMS微振镜行业景气度有望提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2031年MEMS微振镜行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，MEMS微振镜作为激光光束偏转元件，可用于制造MEMS固态激光雷达，机器人制造、智能驾驶、医疗卫生、消费电子等领域为其终端市场。与传统机械式激光雷达相比，MEMS固态激光雷达具备结构紧凑、运行成本低、易于集成、安全可靠性高等优势。目前，我国企业已掌握MEMS固态激光雷达核心制备技术，这将为MEMS微振镜行业发展带来机遇。
全球MEMS微振镜主要生产企业包括美国Mirrorcle公司、德国博世公司（Bosch）、日本Nippon Signal公司等。美国Mirrorcle具备7.5mm MEMS微振镜批量供应能力。在本土方面，英唐智控、中科融合、奥比中光、小优智能、威唐工业、赛微电子等为我国MEMS微振镜市场主要参与者。英唐智控拥有完整MEMS微振镜产业链，产品已在消费电子和智能驾驶领域获得广泛应用。
虽然应用前景广阔，但MEMS微振镜行业发展仍面临诸多技术问题亟待解决。一方面，MEMS微振镜的尺寸较小且扫描角度有限，无法满足大口径MEMS激光雷达光学系统应用需求；另一方面，MEMS微振镜具备振动敏感性，应用于车载环境中，易对其性能及使用寿命产生影响。
新思界
行业分析人士表示，MEMS微振镜作为一种光学微机电器件，在众多领域拥有广阔应用前景。未来随着市场需求日益旺盛，MEMS微振镜行业发展空间将得到进一步扩展。目前，MEMS微振镜行业发展仍面临诸多技术难题。未来随着本土企业持续发力，我国MEMS微振镜行业将逐渐往高性能、高质量方向发展。
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