半导体温控设备，又称半导体专用温控设备，指在半导体制造过程中用于控制温度的关键设备。半导体温控设备具[全文]

晶圆传片机，又称晶圆搬运设备、晶圆传输系统，指在不同半导体制造工艺之间安全、高效地传输晶圆的设备。晶[全文]

截齿激光熔覆设备是一种专用于对截齿进行激光熔覆处理的先进设备。截齿激光熔覆设备通常由激光器、送粉系统[全文]

超低排放成套技术装备，是集成多种排放控制技术，利用除尘、脱硫、脱硝等工艺，将工业生产过程中排放烟气中[全文]

组合式一体化净水器，是集絮凝、沉淀、分离、排污、过滤、反冲洗、消毒等功能于一体的具有全套功能的净水设[全文]

无图形晶圆缺陷检测设备，又称无图案晶圆缺陷检测设备，指在晶圆尚未形成电路图案阶段进行缺陷检测的设备。[全文]

图形晶圆缺陷检测设备，指在晶圆上已经形成微电子器件图形之后，对其缺陷进行检测的设备。图形晶圆缺陷检测[全文]

直接电离离子源是一种特殊的离子源类型，其产生的等离子体可直接电离液态、固体等样品实现离子化。离子源是[全文]

撬毛台车，是在地下工程作业中，清除作业现场可能会对人员与设备造成危害的不稳固浮石的装置，在爆破作业后[全文]

天井钻机，是破岩成孔并能反向扩孔的设备，主要用于地下工程中，进行垂直或者倾斜钻孔，随着技术进步，还可[全文]

海洋模块钻机，是为降低海洋钻井装备成本，将钻机功能进行模块化集成，可快速安装及拆分的一种海洋钻机。海[全文]

按照作业区域来划分，钻机可以分为陆地钻机、海洋钻机两大类。海洋钻机，是专门设计应用在海水下进行钻井作[全文]

线性马达，指不需要通过旋转运动转换，能够直接产生直线运动的器件。线性马达可通过改变电流大小来控制运动[全文]

介质阻挡放电直接电离质谱技术，即DBDI直接电离质谱技术，是基于介质阻挡放电机理的直接电离质谱离子化技术[全文]

沼泽钻机，是专门设计应用在沼泽难进入区域进行钻井作业的装备。沼泽具有低洼积水、土壤松软、植被茂密等特[全文]

钻机的功能是向地下钻进以获取地质资料，沙漠钻机是专门设计应用在沙漠环境中进行钻井作业的装备。全球较多[全文]

极地钻机，是钻机细分产品中的一种特殊的钻探装备，主要为满足极寒环境下，完成特定地质勘探任务的需求。 [全文]