复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合，集两种泵的优点于一体。其结构通常包括涡轮级（用于提高抽速）和牵引级（用于增加压缩比）两部分，可实现在宽压力范围内的高效抽气。复合式分子泵具有压缩比高、抽气效率高、宽压力适应性强、稳定性好等优点，但也存在“对温度依赖性强、敏感度高，及部分部件使用寿命短、需经常更换、维护成本高”等缺点。
由于复合式分子泵融合有涡轮式分子泵和牵引式分子泵的优点，其在分子泵市场占据重要地位。近年来，由于复合式分子泵在半导体、真空镀膜、科研、分析仪器、显示等下游行业越来越受到青睐，国内市场复合式分子泵需求占比持续提高。
从市场规模来看，根据新思界产业中心发布的
《2026-2031年中国复合式分子泵行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2020-2025年，中国复合式分子泵市场规模持续扩张。其中，2025年，得益于复合式分子泵在半导体、真空镀膜、分析仪器、科研、显示等领域的应用增加，国内复合式分子泵市场规模同比增速达到21.9%。
从市场竞争来看，现阶段，国内以北京中科科仪股份有限公司、北京四海祥云流体科技有限公司、中科九微科技股份有限公司、北京世纪久泰真空技术有限公司为代表的分子泵企业均生产复合式分子泵。其中，北京中科科仪股份有限公司分子泵产品全部为复合式分子泵。除本土企业外，爱德华（Edwards Vacuum）、莱宝（Leybold）、普发（Pfeiffer）等国际品牌面向中国市场供应复合式分子泵。
从国产及进口产品占比来看，2020-2025年，由于国产分子泵以复合式分子泵为主，且国产复合式分子泵产品具有性价比优势，国产复合式分子泵在国内市场的占比远高于进口复合式分子泵。其中，2025年，国产复合式分子泵在国内市场的占比超过85%。
新思界
产业分析人士表示，由于复合式分子泵具备更节能、更洁净、更高效等优点，是半导体、真空镀膜、科研、分析仪器等行业获得高真空及超高真空环境的首选设备，预计未来几年中国复合式分子泵市场规模将进一步扩大，且增速将处于较高水平。与此同时，在需求刺激下，中国复合式分子泵行业产量也将进一步增长，但由于国产产品无法完全满足下游市场需求，国内复合式分子泵产量仍将低于国内市场需求量。
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