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电子级氟化铵(NH4F)可用于制造缓冲氧化蚀刻剂(BOE) 我国产能有望扩张

2026-06-26 17:39      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:


        电子级氟化铵,化学式为NH4F,是一种含氟电子化学品。电子级氟化铵外观呈白色结晶性粉末形态,具备超高纯度、各向异性腐蚀特性、优异缓冲特性以及良好溶解性,在集成电路、显示面板以及光伏电池制造过程中拥有广阔应用前景。

        按产品纯度等级不同,电子级氟化铵可分为EL级、UP级、UP-S级、UP-SS级以及UP-SSS级五种。UP-SSS级氟化铵为电子级氟化铵最高纯度等级产品,金属杂质含量可控制在10ppt以内,在高端半导体制造过程中有所应用。未来伴随UP-SSS级氟化铵技术水平不断提升,我国电子级氟化铵行业发展速度有望加快。

        电子级氟化铵制备方法包括液相制备法、气液两相制备法、重结晶-升华联合法以及离子交换树脂纯化法。液相制备法为电子级氟化铵传统制备方法,存在运行成本高、易造成环境污染等问题;重结晶-升华联合法以及离子交换树脂纯化法为电子级氟化铵纯化方法,其中重结晶-升华联合法可用于制备UP-SS级氟化铵。未来随着本土企业及相关科研机构持续发力,我国电子级氟化铵技术水平有望提升。

        根据新思界产业研究中心发布的《2026-2030年电子级氟化铵(NH4F)行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,电子级氟化铵在集成电路、显示面板以及光伏电池制造过程中拥有广阔应用前景。在集成电路领域中,采用电子级氟化铵制成的缓冲氧化蚀刻剂(BOE),可用于大规模集成电路制备过程中,该领域为其最大需求端;在显示面板领域,电子级氟化铵可用于OLED显示面板的清洗、蚀刻等关键工艺中;在光伏电池领域,其可用于制造光伏面板。

        中巨芯科技股份有限公司、浙江森田新材料有限公司、福建三明润祥新材料有限公司、多氟多新材料股份有限公司、福建天甫电子材料有限公司、四川永晶新材料有限公司等为我国电子级氟化铵代表企业。多氟多主营产品包括电子级氟化铵、电子级氢氟酸以及电子级氨水,其电子级氟化铵现有年产能为6000吨,未来有望扩充至9000吨。

        新思界行业分析人士表示,电子级氟化铵作为半导体制造领域电子化学品,应用前景较好。未来伴随国家政策支持以及应用需求增长,我国电子级氟化铵行业发展空间将得到进一步扩展。目前,我国已有多家企业掌握电子级氟化铵核心制备技术,未来其产能将进一步扩张,产量将持续增长。
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