砷烷又称砷化氢、砷化三氢，化学式AsH3，为最简单的砷化合物。砷烷外观呈无色气体，被空气氧化会产生轻微类似大蒜气味，可溶于氯仿、苯以及水，微溶于碱液和乙醇。砷烷具有化学稳定性好、可燃、可分解等特性，在工业生产、半导体制造、光电子、光伏发电、卫星通信、国防军工等领域应用较多。
砷烷主要制备方法包括稀盐酸分解法、乙醚溶液反应法、砷金属化合物和水或酸反应法等。纯化为砷烷生产关键环节，膜分离法、吸附法以及精馏法等为其主要纯化方法，使用膜分离法生产出的砷烷纯度达到99%以上，但其技术难度较高，在我国尚未实现大规模应用。经过多年经验积累，我国砷烷生产技术不断突破，但纯化技术仍无法满足高纯砷烷生产需求，这是行业发展面临的主要挑战。
砷烷为电子特气之一，在工业生产、半导体制造、光电子、光伏发电、卫星通信、国防军工等领域应用较多。在半导体制造领域，砷烷可用于集成电路制造的掺杂工艺中；在光电子领域，砷烷可用于LED化学气相沉积工艺中；在光伏发电领域，砷烷可用于制造高效太阳能电池。受益于下游行业发展速度加快，砷烷市场空间不断扩展。2022年我国砷烷市场规模达到8691.3万元，同比增长8.9%。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年中国砷烷（砷化氢）行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2022年我国砷烷产能达到52吨，占据全球总产能近四成。目前，受环保政策趋严等因素影响，我国砷烷生产企业数量较少，产能较低。预计未来一段时间，伴随技术进步，我国砷烷行业将逐渐往绿色环保方向发展，届时其产能将有所提升。
在市场竞争方面，我国砷烷行业集中度较高，龙头企业占据市场主导地位。南大光电、正帆科技、华微电子、华特气体等为我国砷烷主要生产商。南大光电子公司全椒南大光电高纯砷烷年产能达到30吨，2022年11月，公司投资8000万元用于年产140吨高纯磷烷、砷烷扩产及砷烷技改项目。
新思界
行业分析人士表示，作为电子特气，砷烷在众多领域应用广泛，未来伴随下游需求逐渐释放，我国砷烷行业发展速度将进一步加快。近年来，受环保政策限制以及技术壁垒高等因素影响，我国砷烷产能较低。预计未来一段时间，伴随本土企业持续发力，我国砷烷行业发展速度将进一步加快。
