三氯氢硅又称三氯硅烷，分子式为Cl3HSi，是一种外观呈无色液体的无机化合物，按照用途不同，可分为工业级三氯氢硅、电子级三氯氢硅以及光伏级三氯氢硅等。电子级三氯氢硅指应用于硅外延片及半导体碳化硅等电子电气领域的三氯氢硅。近年来，在市场需求拉动下，我国电子级三氯氢硅行业景气度不断提高。
电子级三氯氢硅纯度通常为8N，提纯为其生产关键环节，络合-精馏法、精馏法以及吸附-精馏法为其主要提纯方法。受技术壁垒高等因素影响，我国电子级三氯氢硅高度依赖进口。近年来，我国企业及科研机构不断加大对电子级三氯氢硅提纯方法的研究，预计未来一段时间，我国电子级三氯氢硅市场国产化进程将有所加快。
电子级三氯氢硅主要应用于电子电气领域，硅外延片及半导体碳化硅等为其终端产品。受益于国家政策支持，我国硅外延片市场空间不断扩展。2022年我国硅外延片市场规模达到95.8亿元，同比增长7.5％。随着下游行业发展速度加快，我国电子级三氯氢硅市场需求日益旺盛。根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年中国电子级三氯氢硅行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，2022年我国电子级三氯氢硅市场规模达到近25亿元。
目前，受技术壁垒高、生产成本高等因素影限制，我国电子级三氯氢硅产能较低，德国、日本和美国等国家占据全球市场主导地位。德国瓦克公司（Wacher）、日本德山株式会社（TOKUYAMA）、美国道康宁公司（Dow Corning）等为全球知名电子级三氯氢硅生产商，以上企业均具备产品大规模生产能力。
我国电子级三氯氢硅行业集中度较高，主要生产企业包括三孚股份、联泓新科、和远气体、晶星科技、洛阳中硅、沁阳凌空等。三孚股份为我国电子级三氯氢硅代表企业，其专注于三氯氢硅、电子级三氯氢硅、四氯化硅、硅烷偶联剂等产品的研发、生产及销售，拥有1000吨/年电子级三氯氢硅产能，目前公司产品已用于生产6-8寸硅外延片。
新思界
行业分析人士表示，随着半导体产业发展速度加快，我国电子级三氯氢硅市场规模不断扩大。近年来，伴随本土企业研究深入、技术进步，我国电子级三氯氢硅产能有所扩张，但仍无法满足下游生产需求，产品进口依赖度较高。整体来看，我国电子级三氯氢硅行业仍存在巨大发展空间。
