碳化硅膜指采用碳化硅材料制备的无机陶瓷膜。碳化硅膜具有化学稳定性好、结构致密、介电常数高、针孔密度小、耐磨性好等优势，在生物医药、集成电路、汽车制造、航空航天等领域应用广泛。按照制作工艺和结构不同，碳化硅膜可分为管式膜、片式膜以及板式膜三种。
碳化硅膜主要原材料为碳化硅（SiC）。碳化硅由木屑、石英砂、煤焦经高温冶炼制成，具有导热系数高、耐磨性好、化学性能稳定、热膨胀系数小等特点，在建材、磨具、耐火材料、功能陶瓷等领域应用广泛。近年来，我国碳化硅生产技术不断创新，带动其产量持续提高。2022年我国黑碳化硅产量达到105.8万吨，同比增长12.6%。原材料优势为我国碳化硅膜行业发展奠定良好基础。
碳化硅膜主要制备方法包括化学气相沉积法（CVD）、物理气相沉积法（PVD）以及直接氮化法三种。化学气相沉积法可细分为等离子体增强化学气相沉积法（PECVD）、常压化学气相沉积法（APVCD）以及低压化学气相沉积法（LPCVD）。等离子体增强化学气相沉积法具有成膜均匀性好、反应速率快、衬底与薄膜结合性好等优势，未来有望成为碳化硅膜主流制备方法。
根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年中国碳化硅膜行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，碳化硅膜主要应用于生物医药、集成电路、汽车制造、航空航天等领域，集成电路领域为其最大需求端。近年来，海外发达国家对我国实施技术封锁，加之新冠疫情蔓延，我国集成电路产量有所下滑。据国家工信部统计数据显示，2022年我国集成电路产量达3241.9亿块，同比下降9.8%。未来随着经济快速发展以及技术进步，我国集成电路产量将有所回暖，届时碳化硅膜的应用需求将进一步增长。
碳化硅膜市场竞争较为激烈，生产企业数量较多。湖北迪洁膜科技公司、山东赛利科膜科技有限公司、山东华恩新材料科技有限公司、杭州坚膜科技有限公司等为我国碳化硅膜主要生产商。
新思界
行业分析人士表示，作为一种无机陶瓷膜，碳化硅膜应用领域广泛，行业发展前景持续向好。受益于原材料供应充足以及技术水平不断提升，我国碳化硅膜行业发展速度不断加快。但目前，我国碳化硅膜质量与海外发达国家相比仍存在差距，本土企业仍需加大研发投入力度，提升自身竞争实力及产品质量。
