高纯甲烷是经提纯、精细加工得到的高纯甲烷气体，其纯度一般达到99.995%（4N5）级别及以上，其可应用于混合气的制备、催化剂评价、金属与合金的渗碳和碳化物生成、微生物培养、冷冻剂以及化工原料等。通常而言，由于高纯甲烷价格较贵，且低纯度的纯甲烷可以满足需求，因而高纯甲烷多用于要求较高的电子工业尤其是半导体领域，以及科研院所的实验领域。
近年来，国家加大产业结构调整力度，一方面加大电子尤其是半导体产业的扶持力度，促进设备、材料等配套产业的发展；另一方面支持企业及科研机构的技术研发，提升技术水平，推动产品升级。高纯甲烷作为重要的电子气体，其行业的发展有利于半导体产业的进步，顺应了产业政策的发展方向。更为重要的是，基于政策的强力支持，气体提纯技术持续发展，为高纯甲烷生产提供了技术支持，便于高纯甲烷进行工业化、规模化生产技术的开发和应用。
电子产业及科研是高纯甲烷的重要应用领域。近年来，国家加大科研支持，促进电子、材料、生物等领域的科研活动增加，加之技术发展得到政府机构及产业界的更多重视，高校、企业及各大研究机构实验室的高纯甲烷需求量整体上升。另外，信息产业的发展驱动电子工业规模的扩大，美国对华为、中兴等高技术企业的技术封锁使得芯片等产品的开发、生产得到前所未有的重视，加之近两年来的“芯片荒”，促使芯片生产领域呈现爆发式增长态势，其所需的电子级甲烷即高纯甲烷需求量增长，驱动高纯甲烷行业持续发展。据新思界发布的《
2023-2028年高纯甲烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，2022年，中国高纯甲烷需求量为23.45万立方米。
高纯甲烷作为电子特气，虽然其应用量相对较小，但在气相沉积等半导体关键工艺中发挥着重要作用，促使其在电力领域的需求量也呈现上升态势。而随着半导体产业的发展及制程的演进，半导体产业对于包括电子特气在内的材料的要求持续提升，纯度达到5N级别的高纯甲烷或将逐渐取代4N5级别的高纯甲烷，未来，半导体产业对于高纯甲烷的需求或将趋向于纯度更高的6N高纯甲烷。新思界
分析人士认为，中国高纯甲烷企业应积极追踪半导体产业的发展，了解相关企业需求，针对相关企业对于高纯甲烷纯度、杂质控制、分装等方面要求，开发、生产、销售相应的高纯甲烷产品，促进市场开发。
