氯化氢是一种化学式为HCI的无色有刺激性气味的气体,具有热稳定性好、极易溶于水、可溶于乙醇等多种有机溶剂、在空气中不燃烧等特性,在工业、化工、纺织、冶金、电子、医药等领域应用较为广泛。其中电子级氯化氢气体是指应用于电子领域,纯度高于99.999%的高纯度氯化氢气体。
根据原材料来源不同,电子级氯化氢气体生产工艺可分为发生法、盐酸脱析法、合成法等。其中发生法与盐酸脱析法是应用较为广泛的电子级氯化氢气体生产方法,发生法是指以浓硫酸为原材料,经过与食盐反应生成氯化氢气体的方法;盐酸脱析法是指以浓盐酸为原材料,经过低温干燥、吸附除水、低温精馏等环节制备氯化氢气体的方法。
电子级氯化氢气体主要应用于集成电路中外延生长前硅、钝化、砷化镓高温刻蚀、气相抛光、吸杂和洁净处理、清除钠离子等环节。近年来,在国内大数据、物联网、车联网、人工智能、5G等新兴高技术产业不断崛起背景下,集成电路市场快速发展,而电子级氯化氢气体作为其生产环节重要原材料,市场需求得以不断增加。
目前我国电子级氯化氢气体仍依赖于进口,国内市场主要由法国液化空气集团、美国默克、印度GFL、德国林德、日本住友精化等外资企业占据主导地位;本土企业主要有博瑞电子科技、威泰精细化工、言赫化工、东龙科技、金宏气体等。受技术壁垒较高影响,目前本土企业电子级氯化氢气体产品仍集中在低端市场,国内市场国产化程度较低。
新思界
产业分析人员表示,电子级氯化氢气体是集成电路生产环节重要原材料,近年来,在国内高技术产业不断涌现及发展背景下,快速发展的集成电路市场带动电子级氯化氢气体需求不断增加,行业发展前景较好。但电子级氯化氢气体属于技术壁垒较高行业,国内市场国产化水平仍比较低,未来行业仍有巨大成长空间,本土企业还需加大技术研发力度。