磷烷，也称为磷化氢，化学式为PH3。磷烷外观为无色气体状，有剧毒，易燃烧，与空气混合有爆炸危险。磷烷微溶于水，水溶液呈弱碱性，易溶于乙醇、乙醚，化学性质活泼，具有强还原性，可与氧气产生剧烈反应，可与大多数卤素产生反应。高纯磷烷是纯度达到99.999%的磷烷产品，主要用于半导体工业中，其技术含量高。
在工业上，次磷酸钠生产可副产大量磷烷，普通级别磷烷主要来自于副产物。这种磷烷杂质含量多、纯度低，无法应用在半导体产业中，可以通过分级冷冻、蒸馏、吸附、干燥等工艺进行提纯得到高纯磷烷。在工业生产中，砷化锌酸解法是高纯磷烷的主流制备工艺，我国企业多采用此种方法进行生产。
高纯磷烷是高纯电子气体产品中技术门槛最高的产品之一，在我国实现量产之前，全球仅有少数几家企业可以生产。高纯磷烷可应用在芯片、集成电路、液晶显示、光伏、航天、国防等领域中，用于N型掺杂、离子注入、化学气相沉积、外延磷化镓材料等方面，地位重要性突出，一直以来国外企业对我国实行严格技术封锁。
21世纪以来，我国半导体产业发展迅速，对高纯磷烷的需求不断上升，为打破国外技术垄断、实现自给，我国在高纯磷烷领域的研发投入不断增大。2013年，南大光电高纯磷烷项目立项，2016年进入商业化生产阶段，标志着我国具备高纯磷烷自给能力。2018年，南大光电高纯磷烷项目扩产，其原有产能加上新增产能全部投产后共计产能达到70吨。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年高纯磷烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，除南大光电外，我国高纯磷烷生产企业还有昊华科技、正帆科技、华特股份、启源领先等。由于技术壁垒高，我国高纯磷烷生产企业数量较少，已投产及预备投产的产能合计在128吨左右，其中，南大光电产能占比达到55%。此外，正帆科技、睿智特气计划新建与扩建高纯磷烷产能，预计未来我国高纯磷烷产能与产量将不断上升。
新思界
行业分析人士表示，高纯磷烷行业技术壁垒高，全球仅有少数几家企业具有量产能力，早期我国需求依靠进口，为满足下游半导体产业需求，经过不断研究与技术积累，我国企业突破相关技术瓶颈，现阶段已实现量产。随着半导体产业技术升级，市场对高纯磷烷的纯度要求进一步提高，南大光电已经具备6N级产品生产力，无论从技术还是产能来看，南大光电在我国高纯磷烷市场中处于领先地位。
