六氟化硫，化学式为SF6，高纯六氟化硫是产品纯度达到99.999%（5N）以上的六氟化硫。高纯六氟化硫常温常压下是无色无味气体，具有无毒、不燃烧、无腐蚀性、化学稳定性强等特点，微溶于水、乙醇、乙醚，可溶于氢氧化钾。高纯六氟化硫主要应用在电子产业中，是高纯电子气体的一种。
高纯六氟化硫在电子产业中可用作蚀刻气体、清洗气体等。作为蚀刻气体，高纯六氟化硫可用于芯片、液晶显示等大规模集成电路的等离子刻蚀领域；作为清洗气体，高纯六氟化硫可用于CVD工艺中，用于液晶显示制造领域。高纯六氟化硫还可以用作单模光纤隔离层掺添剂、准分子激光器气体材料、绝缘气体等。与高纯三硫化氮相比，高纯六氟化硫价格较低，可降低企业生产成本，在CVD等领域中应用需求正在快速增长。
高纯六氟化硫技术壁垒较高，早期我国不具备量产能力，市场需求依靠进口。21世纪以来，我国电子产业发展迅速，对高纯电子气体的需求快速增长，高纯六氟化硫实现自主生产势在必行。黎明化工研究设计院有限责任公司（下文简称黎明院）是我国首家具备高纯六氟化硫量产能力的企业，2015年12月，其完成生产试验，2016年3月，实现工业化生产，在市场需求的拉动下，其产能还在不断扩大。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年高纯六氟化硫行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，随着电子产业产品更新迭代速度不断加快，大规模集成电路技术水平不断提高，高精尖技术的应用，使得市场对电子气体的纯度要求进一步提升，杂质含量更低、纯度更高的高纯六氟化硫需求不断增长。在此背景下，黎明院研发生产出了5.5N高纯六氟化硫。由此可以看出，高纯六氟化硫行业技术壁垒仍在不断提高。
我国是全球最大的电子产品生产国，为提升核心竞争力、争夺国际市场份额，我国电子产业技术升级速度加快，对高纯六氟化硫的需求不断增长。我国六氟化硫生产企业数量较多，但具备高纯六氟化硫生产能力的企业数量少，高纯六氟化硫产量有限，市场供不应求，对外依赖度依然较大。未来，我国高纯六氟化硫行业还有较大发展空间。
新思界
行业分析人士表示，高纯六氟化硫是一种高纯电子气体，主要用于电子产业，用作蚀刻气体、清洗气体。随着我国电子产业规模不断扩大，我国市场对高纯六氟化硫的需求不断增长。现阶段，我国已经具备高纯六氟化硫量产能力，但产量有限，市场仅实现部分进口替代，需求对外依赖度依然较大，有实力的企业可以向此领域进军，未来具有良好发展前景。
