高纯四氟化碳是纯度在99.999%以上的四氟化碳产品，是一种无色无味气体。高纯四氟化碳不可燃烧，在常温常压条件下化学性质稳定，在密闭容器中遇高热有爆炸危险，不溶于水，可溶于苯、氯仿等部分有机溶剂。高纯四氟化碳是一种高纯电子气体，在电子产业中需求量大。
高纯四氟化碳主要用于集成电路、半导体的等离子刻蚀领域，可用来蚀刻硅、二氧化硅、氮化硅等硅材料，是用量最大的等离子蚀刻气体。此外，高纯四氟化碳还可用于印刷电路板清洁、电子元器件清洗、太阳能电池生产等领域。
根据新思界产业研究中心发布的
《2021-2025年高纯四氟化碳行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，我国电子信息产业不断发展壮大，叠加光伏产业规模不断扩张，国内市场对高纯四氟化碳需求持续增长。2011-2019年，我国高纯四氟化碳需求量年均复合增长率为14.6%，2019年需求量约为3660吨。我国人工智能、物联网市场仍在不断扩大，光伏发电累计装机容量不断上升，预计2020-2025年，我国高纯四氟化碳市场需求将继续以10.0%以上的增速增长。
2008年之前，我国不具备高纯四氟化碳量产能力，需求主要依靠进口，而进口产品供应不足，国内市场供小于求的状况长期存在。为配套我国电子、光伏产业发展，高纯四氟化碳实现国产化替代势在必行，在此背景下，我国进入行业布局的资本数量开始增多，相关技术瓶颈逐渐被打破。现阶段，国产高纯四氟化碳已经在国内市场中得到批量应用，占有率不断提高。
新思界
行业分析人士表示，我国高纯四氟化碳生产企业主要有成都科美特特种气体有限公司、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究设计院有限责任公司、福建永晶科技股份有限公司、山东锐华氟业有限公司、绥宁县联合化工有限责任公司、四川众力氟业有限责任公司等。
随着芯片制程向7纳米迈进，细微杂质对芯片的损害更为明显，电子产业对高纯电子气体的纯度要求进一步提高，在此背景下，我国高纯四氟化碳生产技术与产品质量仍有提升空间。2020年6月，黎明化工研究设计院有限责任公司“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”子项目通过了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”的现场测试与评审，其制备出了5.8N高纯四氟化碳。由此可见，我国高纯四氟化碳产品性能还在不断进步，引领行业发展的企业更具发展前景。
