四氟化碳(CF4)已被称为四氟甲烷,在常温常压下无色无臭无毒气体,在空气中不燃烧,化学性质不活泼,微溶于水,可以用粗CF4为原料经纯化处理得到,也可以用碳与氟直接合成后经低温精馏提纯得到,当其纯度达到95%至99.99%以上时,可被称为高纯度四氟化碳。
四氟化碳是当前微电子工业中应用量最高的等离子体蚀刻气体,被广泛应用在硅、氮化硅、磷硅玻璃等薄膜材料的蚀刻。除此之外,四氟化碳还能在电子电器表面清洗、激光、低温制冷、太阳能电池等领域有着应用。四氟化碳作为制冷剂是一种无色不可燃气体,能够保障液体运输的安全性。在临床医学中,四氟化碳还是一种高浓度的麻醉剂。有以上看出,四氟化碳的应用范围广泛,在下游电子产业等带动下,行业快速发展。
根据新思界产业研究中心发布的
《2020年四氟化碳项目商业计划书》显示,随着电子产业的快速发展,其对于电子气体要求不断提升,电子气体不断向超纯、超净、多品种、多规格等方向发展,各国企业为推动电子工业的发展,尤为重视电子气体生产技术的提升。就目前而言,四氟化碳作为一种性价比较高的蚀刻气体,应用需求较高,但长久发展来看,为适应市场需求,未来四氟化碳行业将向高纯度方向发展。
随着手机、相机、太阳能电池等消费电子产品的需求量不断攀升,高纯度四氟化碳将成为四氟化碳行业的主要增长动力。在全球范围内,高纯度四氟化碳应用于欧洲、亚太地区、北美、中东、非洲和南美洲等地区,受电子产业发展程度不同影响,对于高纯度四氟化碳的需求也不同,亚洲地区由于电子产业发展落后,近几年电子电器行业处于快速发展状态,因此使得该地区的高纯度四氟化碳消费量持续攀升。
从市场竞争方面来看,发达地区四氟化碳行业起步较早,因此产品较为成熟,代表企业有林德、液化空气、昭和登科,以及国内的邵武永飞化工、成都凯美特种气体、飞源集团、金宏气体、华特气体、永晶科技、昊华科技、众力氟业等。
新思界
产业分析人士表示,四氟化碳应用范围广阔,尤其是高纯四氟化碳在电子产业中应用需求较高,未来行业发展前景较好。但同时,由于高纯四氟化碳对皮肤有刺激性、危害健康,可能成为阻碍全球高纯四氟化碳市场增长的主要因素。
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