钛靶材,是以纯度99.9%~99.9999%的高纯钛或钛合金制成的溅射镀膜靶材。根据形状不同,钛靶材可分为钛靶块、钛板靶、钛管靶等。
钛靶材主要通过熔铸法、粉末冶金法等方法来制备。熔铸法具有设备简单、生产周期短等优点,但得到的靶材寿命较短;粉末冶金法得到的靶材组织均匀、使用寿命长,但存在生产周期长、生产成本高等缺陷。随着研究不断深入,我国相关钛靶材发明专利数量逐渐增加,有利于行业技术水平提高和产品性能优化,2020年以来包括“一种一体型大尺寸钛靶材的焊接方法”、“一种钛靶材溅射面的处理方法”、“一种长寿命钛靶材”、“一种高纯钛溅射靶材的制备方法”等。
根据新思界产业研究中心发布的
《2026-2030年全球及中国钛靶材行业研究及十五五规划分析报告》显示,钛靶材具有轻质、生物相容性好、耐高温、高强度等特点,可用于装饰镀膜、芯片制造、航天器关键结构件与功能涂层、光电器件制造等,在半导体、光学、平板显示、航空航天、医疗器械等领域广泛应用。随着下游行业景气度持续提升,镀膜材料应用需求不断释放,钛靶材市场呈现出向上发展趋势。在细分市场方面,2025年全球半导体用钛靶材市场规模约为20.6亿元,预计未来将保持增长趋势,2030年全球市场规模将达到32.5亿元。
在全球钛靶材市场上,美国霍尼韦尔(Honeywell)、日本东芝、日本JX金属株式会社(JX Advanced Metals Corporation)等国际巨头凭借技术优势长期占据主导地位。在市场需求持续旺盛驱动下,我国多个企业纷纷布局钛靶材业务,包括宁波江丰电子、长沙鑫康新材料、江西科泰新材料、丰联科光电、有研新材、欧莱新材、映日科技等。凭借持续的技术深耕与创新突破,宁波江丰电子成功研发并生产超高纯金属溅射靶材,打破了国外垄断,填补了国内技术空白,目前相关产品批量应用于7nm、5nm等先进技术节点的芯片制造。
新思界
行业分析人士表示,钛靶材性能优良,应用领域广泛。随着半导体等下游行业不断发展,钛靶材市场空间将持续扩容。钛靶材技术壁垒较高,我国市场格局相对集中,宁波江丰电子为国内龙头企业。随着技术迭代、本土企业研发水平持续提高,我国钛靶材行业自主生产水平、产品性能及质量将进一步提升,高端市场发展速度加快。
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