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CMP保持环(CMP固定环)为晶圆研磨抛光重要耗材 我国市场参与者较少

2023-10-19 15:22      责任编辑:杨光    来源:www.newsijie.com    点击:
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        CMP保持环又称CMP固定环,指在化学机械平坦化工艺中用于固定晶圆的部件,其能够压平抛光垫,以避免晶圆出现机械磨损。CMP保持环需具备纯净度高、振动频率低、耐磨性好、耐腐蚀性佳等特点,在半导体制造、先进封装等领域应用较多。

        按照原材料不同,CMP保持环可分为金属保持环和塑料保持环两种类型。目前塑料保持环已成为CMP保持环市场主流产品,其原材料为工程塑料,包括聚醚醚酮(PEEK)、聚苯硫醚(PPS)、聚酰亚胺(PAI)、聚对苯二甲酸(PETP)等。PEEK和PPS具备硬度高、耐腐蚀、耐磨等优势,在CMP保持环生产过程中应用较多。未来伴随技术进步,PEEK和PPS产量进一步增长,将为CMP保持环行业发展提供有利条件。

        近年来,我国企业及相关科研机构不断加大对CMP保持环制备方法的研究,目前已获得多项发明专利,主要包括《一种用于CMP研磨的保持环》、《用于CMP研磨的保持环的制作法》等。未来伴随技术进步,我国CMP保持环行业发展速度将不断加快。

        根据新思界产业研究中心发布的《2023年全球及中国CMP保持环(CMP固定环)产业深度研究报告》显示,CMP保持环主要应用于晶圆加工过程中。近年来,随着半导体产业发展速度加快,我国晶圆产能快速扩张。目前8寸晶圆为我国市场主流产品,产能占据全球近两成。研磨抛光为晶圆加工重要环节,对其表面光洁程度及平整度起到决定性作用。CMP保持环为晶圆研磨抛光重要耗材,未来随着晶圆行业景气度持续提升,我国CMP保持环市场需求将日益旺盛。

        在市场竞争方面,我国CMP保持环市场参与者较少,行业集中度较高。中研股份、江丰电子、爱科精工等为我国CMP保持环主要生产商。江丰电子专注于半导体用CMP产品的研发、生产及销售,具备CMP保持环、CMP抛光垫核心生产技术,目前公司已与多家晶圆厂达成合作,为其批量供应CMP保持环。未来随着技术成熟度提升以及下游行业发展速度加快,我国CMP保持环生产企业数量将有所增长。

        新思界行业分析人士表示,CMP保持环为晶圆加工重要耗材,受益于下游行业发展速度加快,其市场空间不断扩展。目前,我国仅有少数企业具备CMP保持环批量生产能力,需求高度依赖进口。预计未来一段时间,随着国家政策支持以及技术进步,我国CMP保持环市场国产化进程将有所加快。
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