台阶仪又称为探针式表面轮廓仪，是一款超精密接触式微观轮廓测量仪器，主要由水平仪、望远镜、刻度盘、台阶仪底座等部分组成。台阶仪可用于台阶高、膜层厚度、表面粗糙度等样品表面从微米到纳米尺度的轮廓测量，在微电子、半导体、医疗、科学研究、光伏、MEMS器件、LED、材料科学等领域应用广泛。
在分类上，根据传感器不同，台阶仪可分为电感式、压电式和光电式三种。电感式台阶仪是以电感位移传感器作为敏感元件，具有测量精度高、信噪比高的优势，但电路处理复杂；压电式台阶仪结构简单、灵敏度高，但易漏电、测量误差大。经过不断技术创新，台阶仪逐渐实现升级，产品向着高稳定性、高精度、大量程、智能化、自动化方向转变。
台阶仪精度要求达到纳米量级，由于精度要求极高，环境振动、温度波动、控制器噪声、传感器误差等因素均会影响其测量准确性和稳定性。根据新思界产业研究中心发布的《
2023-2028年台阶仪（探针式表面轮廓仪）行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，台阶仪应用领域广泛，近年来，伴随我国经济高质量发展，电子、光伏、半导体等产业对台阶仪的需求持续释放。但作为超精密测量仪器，台阶仪技术壁垒高，长期以来，台阶仪市场由美国Bruke、美国KLA、日本Kosaka等国外企业垄断。
在严峻的国际竞争形势下，为避免关键设备卡脖子风险，台阶仪自主可控生产将是必然趋势。目前我国台阶仪相关企业和研发机构有安徽泽攸科技有限公司、松山湖材料实验室、东莞市卓聚科技有限公司等。
松山湖材料实验室是广东省第一批省实验室之一，2020年11月，松山湖材料实验室内部立项台阶仪项目，2022年3月，松山湖材料实验室精密仪器研发团队自研的台阶仪出货交付，实现了台阶仪国产化生产。松山湖材料实验室国产台阶仪由安徽泽攸科技有限公司完成产业化并量产出货。
新思界
行业分析人士表示，作为超精密测量仪器，台阶仪应用领域广泛，伴随我国经济发展，台阶仪市场需求将进一步释放，行业发展前景较好。台阶仪精度要求极高，制造难度大，长期以来，我国市场需求严重依赖进口。目前我国已实现台阶仪国产化生产，凭借成本、渠道、本土等优势，国产台阶仪市场占比有望快速提升。
