光伏真空泵是指一种用于制造光伏电池片的重要工具，主要由真空系统与泵组件构成。光伏电池片是太阳能发电系统的核心部件，是指一种能将光能转化为电能的半导体材料，其生产工艺流程较多，主要包括原材料准备、拉晶、切方、切片、抛光、清洗、刻蚀、镀膜、电池片互联、层压等步骤。其中光伏真空泵主要用于硅片拉晶、钝化镀膜环节。
硅片拉晶是指将硅片制成单晶硅棒的过程，在其中，单晶炉炉膛内持续通入惰性气体，真空泵则负责持续地从炉膛向外抽气，起到保持炉膛内真空度稳定的作用；钝化镀膜是指将通过真空镀膜技术，在电池片表面形成一层钝化膜的过程，在其中，真空泵主要起到为PECVD、ALD、组件层压提供真空环境作用，从而避免硅片被氧化，并减少原始污染。
根据新思界产业研究中心发布的
《2023-2028年光伏真空泵行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示，光伏真空泵是光伏电池片生产所需重要设备之一，其行业发展与光伏产业发展息息相关。近年来，在国内光伏产业蓬勃发展背景下，光伏电池片产量不断提升，进而带动光伏真空泵需求持续增长。2022年我国光伏电池片产量已超300GW，在此背景下，2022年我国光伏真空泵市场规模已超2亿元，行业存在广阔发展前景。
光伏真空泵市场主流产品为干式真空泵，包括干式螺杆真空泵、干式罗茨真空泵、干式涡旋真空泵等。我国真空泵行业已经过较长时间发展，目前部分企业技术已达国际领先水平，由此，国内光伏真空泵行业发展有着良好技术基础。我国光伏真空泵生产企业主要有晶澳太阳能、上海汉钟精机、宁波鲍斯能源装备、北京中科科仪、浙江雅弗泵业等。
其中汉钟精机与鲍斯能源是国内光伏真空泵行业两大领先企业，其真空泵产品在光伏行业均有着较为扎实的下游客户基础，如汉钟精机光伏真空泵下游客户主要有晶盛机电、隆基绿能、北方华创、江苏微导、深圳捷佳创、晶澳科技等；鲍斯能源光伏真空泵下游客户主要有隆基绿能、双良能源、连城数控、奥特维、合盛硅业等。
新思界
行业分析人士表示，光伏真空泵是光伏电池片生产所需关键设备之一，当前在国内光伏产业蓬勃发展背景下，其需求持续增加、规模不断扩大，行业展现出良好发展前景。经过不断发展，目前国内光伏真空泵市场已出现汉钟精机与鲍斯能源两大领先企业，未来随着领先企业不断发挥引领作用，行业发展速度有望持续加快。
