准分子激光器是人们利用准分子只能在激发态稳定存在而基态极容易分解的特性发明的激光器件，其工作介质通常为高压稀有气体或者稀有气体一卤素形成的无机准分子材料，其驱动方式一般采用闸流管释放高压储能电容器中的能量来产生快放电激励。
准分子激光器由于具备高单色性、高功率以及高稳定性的优点，被广泛应用于工业、医疗和科研等领域。在工业领域，准分子激光器可用于集成电路光刻、OLED显示、微电子封装、光纤光栅制备、微切割、微钻孔等诸多方面；在医疗领域，准分子激光器主要用于眼科激光手术，也可用于治疗白癜风等皮肤病、心血管治疗和神经外科手术等；在科研领域，准分子激光器在激光诱导荧光、激光脉冲沉积、激光化学气相沉积和激光诱导刻蚀等科研，等离子体物理研究、高温超导、光激发质谱研究、同位素分离、抽运染料激光实现超短脉冲研究、惯性约束核聚变光源和非线性光学特性的研究方面都有着重要的应用。
自20世纪60年代，准分子激光器出现以来，其已经经历了80多年的发展，形成了涵盖大、中、小不同功率的产品系列，以及适应不同应用领域的产品系列。我国经过几十年的科研攻关，也出现了北京科益虹源光电技术有限公司、深圳盛方科技有限公司、国科大（中山）科技创新服务有限公司等几家企业，但是产品系列不完善，在光刻用高重频准分子激光器、大功率准分子激光器等方面与国外还存在差距。
根据新思界发布的
《2023-2027年中国准分子激光器行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》，尽管相较于固体激光器和光纤激光器等产品，准分子激光器具有体积大等缺点，但是其具有紫外波段的大能量和大功率输出优势，因此在诸多重点领域有着不可替代的作用，市场需求稳定增长。并且从下游发展来看，随着我国国民经济的发展和人们健康重视力度的提升，医疗行业蓬勃发展，成为准分子激光器行业发展的重要推动力；集成电力、OLED显示等行业则呈现出产能向中国集聚的特点，为准分子激光器行业发展提供了增长动力。因此，中国准分子激光器行业市场前景广阔。
新思界
产业分析师表示，中国需要继续加强准分子激光器研究，加快自主化发展进程，避免被国外企业“卡脖子”。
