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PECVD真空腔体是HJT电池生产所需关键设备 行业发展前景广阔

2023-02-20 21:34      责任编辑:程玉    来源:www.newsijie.com    点击:
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  真空腔体是指保证内部为真空状态的容器设备,当前在技术工艺要求不断升级背景下,多数先进工艺均需在真空或惰性气体保护条件下完成,因此,真空腔体应运而生,成为保证多种工艺顺利实施的关键设备。
 
  PECVD真空腔体则是等离子增强型化学气相淀积(PECVD)技术工艺中所需真空腔体的总称。根据用途不同,PECVD真空腔体可分为PECVD真空工艺腔体与PECVD真空传送腔体两大类;根据材质不同,PECVD真空腔体可分为不锈钢、铝合金、钛合金真空腔体等。
 
  等离子增强型化学气相淀积(PECVD)是化学气相淀积技术的一种,是指在低气压条件下,利用低温等离子体在真空腔体的阴极上产生辉光放电,通过辉光放电使样品升温,再与气体发生反应下,使样品表面形成固态薄膜的过程。PECVD是制备薄膜光伏电池中非晶硅吸收层的关键工艺,而PECVD真空腔体则是PECVD工艺所需重要设备载体之一。当前在下游薄膜光伏电池市场快速发展带动下,PECVD真空腔体行业迎来发展新机遇。
 
  PECVD工艺在异质结(HJT)光伏电池中应用占比较大。HJT电池是光伏电池行业中具有颠覆性技术的新型电池,当前在光伏发电产业快速发展背景下,其产业化进程正不断加快。目前已有爱康科技、宝馨科技、东方日升等多家企业布局HJT电池项目,2022年国内HJT电池扩产规模在20-30GW。根据新思界产业研究中心发布的《2023-2028年PECVD真空腔体行业市场深度调研及投资前景预测分析报告》显示,未来随着HJT电池加速扩产,预计到2025年,我国PECVD真空腔体市场规模有望达到7.9亿元,2023-2025年规模复合年增长率将超过100%。
 
  PECVD真空腔体属于大型铸件之一,目前国内具备量产能力的企业主要包括明志科技、日扬科技、神商精密器材、帕萨电子装备等。现阶段,我国HJT电池尚未实现产业化,因此,作为其配套装备的PECVD真空腔体行业仍处于初步发展阶段,布局企业数量较少。
 
  新思界产业分析人士表示,异质结(HJT)电池是一种高效晶硅太阳能电池结构,是一类极具发展潜力的太阳能电池,当前在其优势不断凸显背景下,其产业化进程正不断加速。而PECVD真空腔体作为HJT电池核心生产工艺PECVD的关键设备载体,市场需求得以不断增加。但目前国内PECVD真空腔体行业仍处于初步发展阶段,未来还有巨大成长空间。
关键字: PECVD 真空腔体