离子注入机与刻蚀机、光刻机和镀膜机并称为半导体四大核心装备。离子注入指对半导体表面区域进行掺杂的技术，其目的是改变半导体导电类型和载流子浓度。离子注入机为离子注入技术所使用的必备机器，属于高压小型加速器细分产品。
根据新思界产业研究中心发布的《
2022年离子注入机行业发展现状及投资策略建议报告》显示，在技术创新推动下，我国离子注入机产量有所提高，但企业多以生产中低端产品为主，高端产品进口依赖度较高。据中国海关总署统计数据显示，2021年我国离子注入机进口量达384.0台，同比增长67.0％；出口量达157.0台，同比增长20.8％。美国、日本、韩国和新加坡为我国离子注入机主要进口国，以上四国占据我国总进口量近97.0％。
离子注入机开发难度较大，我国自主研发能力较弱，高端产品长期被海外企业垄断。政府对离子注入机行业发展高度重视，出台众多政策予以支持。2021年上海市人民政府办公厅印发《上海市先进制造业发展“十四五”规划》，明确提出要重点发展集成电路产业，加强离子注入设备、光刻设备、刻蚀设备等集成电路核心设备创新发展。在此背景下，我国离子注入机行业有望进入快速发展阶段。
全球离子注入机龙头企业主要集中于美国和日本，美国企业占据全球离子注入机市场近70.0％的份额。美国亚舍立技术Axcelis、美国因特瓦克Intevac、日本住友、日本真空、日本日新离子机等为全球知名离子注入机生产商。
我国离子注入机行业起步较晚，但发展势头迅猛。北京中科信电子装备有限公司、上海凯世通半导体股份有限公司、中国电子科技集团有限公司为我国离子注入机龙头企业。2021年中国电子科技集团突破高性能离子源、高速晶圆传输等技术壁垒，自主研制出高性能大束流离子注入机，这意味着我国离子注入机国产化进程进一步加快。
半导体为离子注入机最大应用领域，受益于我国半导体行业景气度不断提升，离子注入机采购需求大幅增长。2021年我国离子注入机市场规模达51.2亿元，同比增长16.5%。新思界
行业分析人士表示，在国家政策支持以及本土企业技术创新等积极因素带动下，我国离子注入机市场规模有望进一步扩大。但目前，高端离子注入机进口依赖度高，仍为行业发展面临的主要挑战。
