电子级硝酸，化学式为HNO₃，指将工业硝酸中的金属离子、颗粒物与阴离子杂质压低至ppb乃至ppt量级的功能性湿电子化学品。电子级硝酸具备强氧化性、强腐蚀性，在半导体晶圆清洗与蚀刻领域拥有广阔应用前景。
电子级硝酸制备方法包括合成氨直接合成法以及工业硝酸纯化法两种。合成氨直接合成法指以合成氨为原材料，经过氧化、吸收、电解和反渗透处理等流程制得成品；工业硝酸纯化法指以工业硝酸为原材料，经过亚沸蒸馏、精密精馏、离子交换等流程制得电子级硝酸。未来伴随技术进步，我国电子级硝酸产量将得到进一步提升。
为规范市场发展，我国有关部门已出台多项电子级硝酸相关行业标准及团体标准。2026年12月1日，由国家工信部发布的行业标准《SJ/T 12222-2026 电子级硝酸》将正式实施，文件针对电子级硝酸的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则及包装运输储存要求等内容进行了明确规范。未来伴随行业标准不断完善，我国高品质电子级硝酸市场占比有望提升。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年电子级硝酸行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，电子级硝酸在半导体晶圆清洗与蚀刻领域拥有广阔应用前景，其可利用强氧化性去除硅片表面的金属离子、有机物及颗粒污染物。近年来，伴随全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国集成电路产量不断增长。据国家工信部统计数据显示，2026年1-5月，我国集成电路产量达到2286亿块，同比增长25.4%。在此背景下，电子级硝酸应用需求有望增长。
全球电子级硝酸主要生产企业包括德国巴斯夫股份公司（BASF）、日本三菱化学株式会社（Mitsubishi）、日本关东化学株式会社（KANTO CHEMICAL）等。在本土方面，中巨芯科技股份有限公司、晶瑞电子材料股份有限公司、江化微电子材料股份有限公司等为我国电子级硝酸代表企业。中巨芯拥有较为完整电子湿化学品领域产品线，具备G5级电子级硝酸规模化生产实力。
新思界
行业分析人士表示，电子级硝酸作为湿电子化学品，在半导体领域需求旺盛。未来伴随行业标准不断完善以及技术进步，我国电子级硝酸产量及质量将不断提升。目前，我国已有多家企业具备电子级硝酸规模化生产实力，未来其市场竞争将日益激烈。
关键字：
