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乙硼烷为高纯掺杂材料刚需 中国产业迎国产化窗口期

2026-10-07 21:56      责任编辑:杨晨    来源:www.newsijie.com    点击: 次

乙硼烷为高纯掺杂材料刚需 中国产业迎国产化窗口期

  乙硼烷化学式B2H6,也叫二硼烷,属于硼基电子特种气体,常温下为无色可自燃有毒气体,具备强还原性,化学性质活泼,遇空气易自燃,对储存输送的密闭、低温管控要求极高,电子级产品是半导体掺杂工艺核心前驱体材料。

  乙硼烷主要是作为半导体产业的掺杂源,在硅晶圆加工中广泛用于p型掺杂。在半导体制造中,乙硼烷可用作硅材料的p型掺杂源,用于硅和锗的外延生长、钝化、扩散和离子注入等工序。同时,乙硼烷还可用于平板显示、太阳能电池、LED、光纤、医药、核电等领域,并可用作聚合催化剂以及火箭和导弹的高能燃料。随着半导体、航空航天、医药等高科技领域的快速发展,高品质乙硼烷的需求日益旺盛。

  近年来全球半导体制造工艺持续迭代,功率半导体、存储芯片产能扩张带动掺杂材料需求上行,乙硼烷作为P型掺杂的主流硼源,在低压化学气相沉积与原位掺杂工艺中发挥着不可替代的作用,下游厂商对气体纯度、批次稳定性以及现场供气安全管理提出更高标准,高纯乙硼烷的供给保障能力成为晶圆厂供应链考量的关键因素。

  全球乙硼烷市场长期由海外企业主导,行业壁垒较高,产能与技术主要掌握在少数发达国家厂商手中。根据新思界产业研究中心发布的《2026-2030年乙硼烷行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,日本大阳日酸、法国液化空气集团、美国空气产品等国际特种气体龙头掌握高纯产品制备与安全储运技术,凭借多年客户认证优势占据全球高端乙硼烷市场。

  在中国市场方面,我国乙硼烷生产企业数量较少,高端产品长期依赖进口。然而,乙硼烷易发生聚合,从欧美进口即使采用冷链储存也难以避免聚合发生,运输十分困难,这为国产化提供了重要机遇。近年来,随着电子特气国产化进程加速和半导体自主可控政策推动,国内企业正加快布局。保定市北方特种气体有限公司率先实现电子级乙硼烷量产,产品纯度可达5N级,其二期生产净化生产线已实现量产;太和气体荆州有限公司专注于半导体电子特种气体,通过技术攻关打破国外垄断,实现乙硼烷等产品的国产化。

  新思界行业分析人士表示,全球功率半导体、存储芯片扩产以及第三代半导体产业持续发展,将持续拉动高纯乙硼烷市场需求。未来,中国本土企业依托国内氯基、硼化工产业链基础,持续优化提纯工艺,降低痕量杂质水平,随着更多产品完成下游晶圆厂认证,中国乙硼烷市场空间有望持续释放。
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