超高纯二氧化碳，指纯度达到5N级及以上的二氧化碳，属于高端电子特种气体。超高纯二氧化碳具备超临界特性以及对杂质敏感性，在半导体制造、显示面板制造、光伏发电等领域拥有巨大应用潜力。
超高纯二氧化碳包括5N级二氧化碳（纯度≥99.999%）、6N级二氧化碳（纯度≥99.9999%）以及7N级二氧化碳（纯度≥99.99999%）等。5N级二氧化碳可满足28nm及以上成熟芯片制程，为超高纯二氧化碳代表产品；6N级二氧化碳适配7–14nm先进逻辑芯片、3D存储芯片等高精度生产场景；7N级二氧化碳属于高端超高纯二氧化碳，目前以实验室研发为主，尚未获得广泛应用。
提纯为超高纯二氧化碳制备关键环节，吸附精馏法、低温精馏法、催化氧化法等为其常用提纯方法。低温精馏法可通过低温双精馏系统脱除二氧化碳中各种重组分杂质和各种不凝轻组分杂质，为超高纯二氧化碳主流提纯方法。
超高纯二氧化碳性能优异，在半导体制造、显示面板制造、光伏发电领域拥有巨大应用潜力。在半导体制造领域，超高纯二氧化碳可用于先进制程芯片超临界清洗工艺中；在显示面板制造领域，其可用于高世代LCD、OLED玻璃基板精密清洗与器件封装保护过程中；在光伏发电领域，其可用于光伏电池片镀膜、钝化工序中。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年超高纯二氧化碳行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，半导体制造领域为超高纯二氧化碳主要需求端，占比达到近五成。近年来，随着全球半导体产业逐渐向我国大陆转移，我国芯片产量保持增长趋势。据国家工信部统计数据显示，2026年1-5月，我国芯片产量达到2286亿块，同比增长25.4%。未来随着下游行业发展速度加快，我国超高纯二氧化碳市场规模将得到进一步增长。
金宏气体、凯美特气、华特气体、和远气体、广钢气体以及至纯科技等为我国超高纯二氧化碳主要生产商。金宏气体推出的6N级二氧化碳已批量供应我国头部半导体企业。
新思界
行业分析人士表示，超高纯二氧化碳作为半导体先进制程特种气体，性能优异，应用前景广阔。未来伴随我国芯片产量不断增长，超高纯二氧化碳市场空间将得到进一步扩展。目前，我国企业已掌握超高纯二氧化碳核心制备技术，未来其产能将进一步扩张，产量将持续增长。
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