氧化铟镓锌(IGZO),指由铟(In)、镓(Ga)、锌(Zn)和氧(O)组成的非晶态金属氧化物半导体材料,常见物相包括In₂Ga₂ZnO₇、InGaZnO₄。氧化铟镓锌具备功耗低、禁带宽、电子迁移率高、工艺兼容性好等特点,在薄膜晶体管(TFT)、传感器以及忆阻器等领域应用较多。
2025年11月1日,由国家工信部批准发布的行业标准《YS/T 1780-2025 氧化铟镓锌靶材》正式实施,文件针对IGZO靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装等内容进行了明确规范。未来随着行业标准不断完善,我国氧化铟镓锌技术水平及产品质量将得到进一步提升。
氧化铟镓锌制备方法包括磁控溅射法、原子层沉积法(ALD)、高温固相反应法等。磁控溅射法具备技术成熟度高、成膜速度快、成品均匀性好等优势,可用于制造氧化铟镓锌薄膜;原子层沉积法(ALD)以热原子层沉积法(TALD)为代表,可用于制造高界面质量氧化铟镓锌。未来伴随技术进步,氧化铟镓锌行业发展速度有望加快。
根据新思界产业研究中心发布的《
2026-2030年氧化铟镓锌(IGZO)行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示,氧化铟镓锌主要应用于薄膜晶体管(TFT)、传感器以及忆阻器等领域。在薄膜晶体管(TFT)领域,氧化铟镓锌作为薄膜晶体管(TFT)沟道层材料,可用于制造液晶显示器(LCD)和有机发光二极管显示器(OLED),可有效提升显示面板的分辨率和刷新率;在传感器领域,其可用于制造光电探测器、压力传感器、pH传感器、气体传感器等。
全球氧化铟镓锌代表企业包括日本夏普(Sharp)、日本三井金属(MITSUI MINING & SMELTING)、日本索尼(Sony)、韩国三星电子(Samsung)、韩国LG等。夏普已推出第5代IGZO液晶技术,主要应用于液晶电视、智能手机、平板电脑以及车载显示等领域。在本土方面,京东方(BOE)、TCL华星光电、深天马、中山智隆新材、奕瑞科技以及映日科技等为我国氧化铟镓锌市场主要参与者。
新思界
行业分析人士表示,氧化铟镓锌作为第四代氧化物半导体材料,凭借高电子迁移率、低功耗等核心优势,在显示面板领域获得广泛应用。目前全球氧化铟镓锌市场被日韩企业占据主导。未来随着本土企业持续发力,我国氧化铟镓锌市场国产化进程将不断加快。
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