正硅酸甲酯（TMOS），又称硅酸四甲酯、四甲氧基硅烷，是一种酯类化合物，化学式为C4H12O4Si，通常条件下为无色透明液体，有特殊气味，主要通过硅粉直接法、氟硅酸钠法、四氯化硅法等方法制备，在电子、光学玻璃、有机硅合成等领域广泛应用。相较于普通正硅酸甲酯，电子级正硅酸甲酯纯度更高，在99.9%以上，是一种重要的电子材料。
从产业链来看，四氯化硅、甲醇、硅粉、催化剂等是制备电子级正硅酸甲酯的相关原材料。2024年我国甲醇行业产量约为9180万吨，同比增幅达10.3%。另外，我国有多个企业具备四氯化硅量产实力，包括三孚股份、沁阳国顺硅源、江瀚新材等。因此，上游原材料供应稳定为我国电子级正硅酸甲酯行业发展提供有利条件。
电子级正硅酸甲酯产业中游是生产制造环节，2024年6月，厦门大学公开一项“一种电子级正硅酸甲酯的提纯方法”专利，即以精馏塔为主要设备，采用精馏-吸附除杂-精馏的流程，制得电子级正硅酸甲酯，该发明具有产品纯度高、可进行连续生产等优点，适用于大规模工业化生产。
根据新思界产业研究中心发布的
《2025年中国电子级正硅酸甲酯市场专项调研及企业“十五五规划”建议报告》显示，电子级正硅酸甲酯产业下游是应用领域，电子级正硅酸甲酯属于一种电子气体，主要用于半导体芯片制造中。随着高端制造业快速发展，我国芯片市场规模不断扩大，进而为电子级正硅酸甲酯市场需求释放创造空间。2024年中国集成电路（芯片）市场规模约为14310亿元。
我国电子级正硅酸甲酯市场生产企业包括武汉新硅科技潜江有限公司、湖北中誉新材料有限公司、湖北华耐德新材料科技有限公司、宁夏明凌新材料科技有限公司、湖北硅元新材料科技有限公司等。
2023年，湖北中誉新材料有限公司启动“年产20000吨电子化学品和新能源材料项目”，项目建成后将形成年产10000吨电子级正硅酸甲酯。2025年，宁夏明凌新材料科技有限公司“光刻胶核心材料项目”环评文件受理公示，其中包括200吨电子级正硅酸甲酯。
新思界
行业分析人士表示，伴随电子行业需求逐渐释放，我国电子级正硅酸甲酯行业发展速度将有所加快。目前，受技术壁垒高、生产成本高等因素限制，我国电子级正硅酸甲酯市场对外依存度较高。在生产工艺水平进步、相关企业积极进行产能布局利好下，我国电子级正硅酸甲酯行业产能规模有望扩大。
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