PHS聚羟基苯乙烯树脂是一种用于生产KrF光刻胶的树脂。与传统酚醛树脂相比,PHS聚羟基苯乙烯树脂及其衍生物结构中含有大量苯环,抗刻蚀能力强,在248nm KrF光刻胶应用中具有良好的透光性,同时具有极佳的热稳定性、化学稳定性、光敏性以及溶解选择性,可用作光刻胶感光树脂以及成膜材料,是生产KrF光刻胶的关键原料,主要用于8英寸及12英寸等大尺寸硅片制备。
受半导体自主政策推动,中国PHS聚羟基苯乙烯树脂市场在国家集成电路产业基金扶持、地方半导体材料产业园建设及本土晶圆厂产能扩张的多重支撑下也快速扩大,八亿时空建成产线,彤程新材实现量产应用,但市场仍由日本曹达、美国杜邦、日本丸善石化等外资企业主导,高度依赖进口。
PHS聚羟基苯乙烯树脂合成工艺复杂,生产涉及活性阴离子聚合、超纯化提纯等核心技术,对分子量分布控制、金属杂质去除等指标要求严苛。从国内外技术发展情况来看,目前,国际企业如日本曹达、美国杜邦通过长期技术积累,在聚合工艺和纯化技术上占据优势。国内企业正快速追赶,如八亿时空、彤程新材通过自主研发,实现窄分布PHS树脂的量产。例如,八亿时空采用微通道反应系统,实现连续化生产,产品各项指标优异,在金属离子残留控制(<1ppb/个)、树脂分子量分布(PDI<1.2)等关键指标方面达到了较高水平,并且批次稳定性良好(重均分子量批次偏差1.5%),通过客户验证并应用。
当前,中国PHS聚羟基苯乙烯树脂市场由外资企业及本土企业共同参与竞争。其中,代表性的外资品牌有日本曹达、美国杜邦、日本丸善石化等;本土企业主要包括彤程新材料集团股份有限公司、北京八亿时空液晶科技股份有限公司等。整体上看,受较高的技术壁垒等因素影响,中国PHS聚羟基苯乙烯树脂行业参与者数量不多,市场竞争相对缓和。
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