六氯乙硅烷（HCDS），化学式为Si2Cl6，是一种乙硅烷的六氯取代物。六氯乙硅烷外观呈无色液体，具备化学稳定性好、挥发性低、薄膜沉积性佳等特点，在半导体制造、光纤制造、光伏发电等众多领域需求旺盛。
近年来，为规范市场发展，我国有关部门已出台多项六氯乙硅烷相关行业标准及团体标准，主要包括《GB/T 42720-2023 电子特气 六氯乙硅烷》、《YS/T 1601-2023 六氯乙硅烷中杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法》、《T/CNIA 0114—2021 改良西门子法多晶硅副产品 六氯乙硅烷》等。未来随着行业标准不断完善，我国六氯乙硅烷质量将有所提升。
提纯为六氯乙硅烷制备关键环节，其主要提纯方法包括萃取精馏法、吸附联合精馏法、反应精馏法以及精馏提纯法等。萃取精馏法指以氯硅烷渣浆为主要原材料，加入正十三烷等萃取剂，经萃取工艺、干燥分离、精馏提纯等流程制得成品；吸附联合精馏法可用于制备超高纯度六氯乙硅烷；反应精馏法指以硅粉、四氯化硅（SiCl₄）为主要原材料，经加热、充分反应、冷却、过滤以及蒸馏等流程制得成品。
六氯乙硅烷在半导体制造、光纤制造、光伏发电等众多领域需求旺盛。在半导体制造领域，六氯乙硅烷作为电子特气，可用于集成电路化学气相沉积（CVD）工艺中。近年来，随着我国半导体产业发展速度加快，集成电路产量持续增长。据国家工信部统计数据显示，2025年1-7月，我国集成电路产量达到2946亿块，同比增长10.4%。根据新思界产业研究中心发布的《
2025-2029年六氯乙硅烷（HCDS）行业深度市场调研及投资策略建议报告》显示，随着下游行业发展速度加快，我国六氯乙硅烷市场规模不断增长，2024年达到近25亿美元。
全球六氯乙硅烷主要生产企业包括德国瓦克化学公司、德国赢创工业集团、法国液化空气集团等。在本土方面，南大光电、金宏气体、华特电子、正帆科技、兴洋科技、中硅高科、新硅科技等为我国六氯乙硅烷市场主要参与者。
新思界
行业分析人士表示，六氯乙硅烷在半导体制造领域应用较多，未来伴随市场需求逐渐释放，其行业发展空间将得到进一步扩展。与海外发达国家相比，我国六氯乙硅烷行业起步较晚，但发展势头迅猛，已有多家企业具备其规模化生产实力。未来随着技术进步，我国六氯乙硅烷行业景气度将进一步提升。
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